[实用新型]硒分配管、薄膜蒸镀设备及光伏芯片制造设备有效
| 申请号： | 201821510207.3 | 申请日： | 2018-09-14 |
| 公开（公告）号： | CN208995582U | 公开（公告）日： | 2019-06-18 |
| 发明（设计）人： | 张艳超 | 申请（专利权）人： | 北京铂阳顶荣光伏科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/06;H01L31/18 |
| 代理公司： | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 | 代理人： | 黄彩荣 |
| 地址： | 100176 北京市北京经济*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及光伏发电技术领域，特别涉及一种硒分配管、薄膜蒸镀设备及光伏芯片制造设备。本实用新型提供一种硒分配管，包括管本体以及设置在所述管本体内的分隔体，所述分隔体将所述管本体分隔成至少两个腔室，每个所述腔室均设置有进气口和出气口。本实用新型提供的硒分配管中的分隔体将管本体分隔成多个相互独立的腔室，则能够避免进入管本体内的由不同硒蒸发源蒸发出的硒蒸汽在管本体内相互干扰，便于控制蒸发源功率和蒸发量，进而方便对工艺调整，提高产能。 | ||
| 搜索关键词： | 分配管 本实用新型 分隔体 管本体 腔室 芯片制造 体内 薄膜蒸 蒸发源 光伏 分隔 进气口 工艺调整 光伏发电 出气口 进入管 硒蒸汽 蒸发量 产能 | ||
【主权项】：
1.一种硒分配管，其特征在于，包括：管本体以及设置在所述管本体内的分隔体，所述分隔体将所述管本体分隔成至少两个腔室，每个所述腔室均设置有进气口和出气口。
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