[实用新型]一种晶圆清洗装置

摘要

本实用新型公开了一种晶圆清洗装置，包括壳体，所述壳体的左侧固定连接有传动箱，所述传动箱内壁背面的底部固定连接有电机，所述电机的输出端固定连接有转盘，所述转盘正面的左侧固定连接有固定柱，所述固定柱的表面活动连接有第一传动杆。本实用新型通过设置壳体、传动箱、电机、转盘、固定柱、第一传动杆、第二传动杆、第一滑杆、固定杆、第三传动杆、第四传动杆、第一固定块、第二滑杆、第五传动杆、漏框、超声机、出料管和第二固定块的配合使用，解决了现有的清洗装置清洗不干净，从而造成晶圆清洗效果差的问题，该晶圆清洗装置，具备清洗效果好的优点，方便使用者对晶圆的后续加工，提高了晶圆的实用性。

主权项

1.一种晶圆清洗装置，包括壳体(1)，其特征在于：所述壳体(1)的左侧固定连接有传动箱(2)，所述传动箱(2)内壁背面的底部固定连接有电机(3)，所述电机(3)的输出端固定连接有转盘(4)，所述转盘(4)正面的左侧固定连接有固定柱(5)，所述固定柱(5)的表面活动连接有第一传动杆(6)，所述第一传动杆(6)背面的顶部通过第一转轴活动连接有第二传动杆(7)，所述第二传动杆(7)内部的两侧均活动连接有第一滑杆(8)，所述第一滑杆(8)的顶部固定连接有固定杆(9)，所述固定杆(9)的两侧均与传动箱(2)的内壁固定连接，所述第二传动杆(7)顶部的右侧固定连接有第三传动杆(10)，所述第三传动杆(10)正面的顶部通过第二转轴活动连接有第四传动杆(11)，所述第四传动杆(11)背面的顶部通过第三转轴活动连接有第一固定块(12)，所述第一固定块(12)的内部活动连接有第二滑杆(13)，所述第二滑杆(13)的两侧均与传动箱(2)的内壁固定连接，所述第一固定块(12)顶部的右侧固定连接有第五传动杆(14)，所述第五传动杆(14)的右侧由左至右依次贯穿传动箱(2)和壳体(1)并延伸至壳体(1)的内部，所述第五传动杆(14)的右侧固定连接有漏框(15)，所述壳体(1)内壁的底部设置有超声机(16)，所述壳体(1)右侧的底部连通有出料管(17)，所述壳体(1)底部的两侧均固定连接有第二固定块(18)。