[实用新型]一种晶圆清洗装置

权利要求书

1.一种晶圆清洗装置，包括壳体(1)，其特征在于：所述壳体(1)的左侧固定连接有传动箱(2)，所述传动箱(2)内壁背面的底部固定连接有电机(3)，所述电机(3)的输出端固定连接有转盘(4)，所述转盘(4)正面的左侧固定连接有固定柱(5)，所述固定柱(5)的表面活动连接有第一传动杆(6)，所述第一传动杆(6)背面的顶部通过第一转轴活动连接有第二传动杆(7)，所述第二传动杆(7)内部的两侧均活动连接有第一滑杆(8)，所述第一滑杆(8)的顶部固定连接有固定杆(9)，所述固定杆(9)的两侧均与传动箱(2)的内壁固定连接，所述第二传动杆(7)顶部的右侧固定连接有第三传动杆(10)，所述第三传动杆(10)正面的顶部通过第二转轴活动连接有第四传动杆(11)，所述第四传动杆(11)背面的顶部通过第三转轴活动连接有第一固定块(12)，所述第一固定块(12)的内部活动连接有第二滑杆(13)，所述第二滑杆(13)的两侧均与传动箱(2)的内壁固定连接，所述第一固定块(12)顶部的右侧固定连接有第五传动杆(14)，所述第五传动杆(14)的右侧由左至右依次贯穿传动箱(2)和壳体(1)并延伸至壳体(1)的内部，所述第五传动杆(14)的右侧固定连接有漏框(15)，所述壳体(1)内壁的底部设置有超声机(16)，所述壳体(1)右侧的底部连通有出料管(17)，所述壳体(1)底部的两侧均固定连接有第二固定块(18)。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆清洗装置，其特征在于：所述第一滑杆(8)的底部固定连接有第三固定块(19)，所述第一滑杆(8)表面的底部套设有第一弹簧(20)，所述第一弹簧(20)的顶部与第二传动杆(7)的底部固定连接，所述第一弹簧(20)的底部与第三固定块(19)的顶部固定连接。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆清洗装置，其特征在于：所述第二传动杆(7)的两侧均固定连接有滑块(21)，所述传动箱(2)内壁的两侧均开设有配合滑块(21)使用的滑槽(22)。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆清洗装置，其特征在于：所述第二滑杆(13)表面的左侧套设有第二弹簧(23)，所述第二弹簧(23)的左侧与传动箱(2)内壁的左侧固定连接，所述第二弹簧(23)的右侧与第一固定块(12)的左侧固定连接。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆清洗装置，其特征在于：所述第五传动杆(14)的表面活动连接有第四固定块(24)，所述第四固定块(24)的左侧与壳体(1)内壁的左侧固定连接。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆清洗装置，其特征在于：所述漏框(15)的内部设置有提篮(25)，所述漏框(15)底部的四周均固定连接有滚轮(26)，所述滚轮(26)的底部与超声机(16)的顶部活动连接。