[实用新型]一种钨化硅装置上半端罩部件洗净溶射专用保护治具有效
| 申请号： | 201821176272.7 | 申请日： | 2018-07-24 |
| 公开（公告）号： | CN208517508U | 公开（公告）日： | 2019-02-19 |
| 发明（设计）人： | 陈智慧;朱光宇;张正伟;李泓波;贺贤汉 | 申请（专利权）人： | 富乐德科技发展（大连）有限公司 |
| 主分类号： | C23C4/02 | 分类号： | C23C4/02 |
| 代理公司： | 大连智高专利事务所(特殊普通合伙) 21235 | 代理人： | 盖小静 |
| 地址： | 116600 辽宁省大连市保税区*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 一种钨化硅装置上半端罩部件洗净溶射专用保护治具，属于洗净溶射遮蔽治具领域。包括侧壁、水平支撑面、倾斜支撑面和空腔；所述侧壁为上端直径大于下端直径的环状结构，所述环状结构内部为空腔；水平支撑面位于侧壁顶部，倾斜支撑面位于侧壁内部上端，所述水平支撑面与倾斜支撑面连接。本实用新型的治具选用不锈钢材质，能够达到比耐高温胶带更高的耐热性同时治具表面不会留下残胶、污垢等副产物；治具能够提供相对于手工粘贴耐高温胶带保护更高的洗净溶射范围精度；洗净溶射遮蔽保护治具可以重复利用，只需经过适当的清洗就可以使表面光亮如新，达到再使用的要求。 | ||
| 搜索关键词： | 治具 洗净 倾斜支撑面 水平支撑面 侧壁 耐高温胶带 环状结构 专用保护 钨化硅 上端 端罩 空腔 耐热性 本实用新型 不锈钢材质 表面光亮 侧壁顶部 遮蔽保护 治具表面 重复利用 副产物 再使用 污垢 残胶 下端 遮蔽 粘贴 清洗 | ||
【主权项】：
1.一种钨化硅装置上半端罩部件洗净溶射专用保护治具，其特征在于，包括侧壁(3)、水平支撑面(4)、倾斜支撑面(5)和空腔(2)；所述侧壁(3)为上端直径大于下端直径的环状结构，所述环状结构内部为空腔(2)；水平支撑面(4)位于侧壁(3)顶部，倾斜支撑面(5)位于侧壁(3)内部上端，所述水平支撑面(4)与倾斜支撑面(5)连接。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C4-00 熔融态覆层材料喷镀法，例如火焰喷镀法、等离子喷镀法或放电喷镀法的镀覆
C23C4-02 .待镀材料的预处理，例如为了在选定的表面区域镀覆
C23C4-04 .以镀覆材料为特征的
C23C4-12 .以喷镀方法为特征的
C23C4-18 .后处理
C23C4-14 ..用于长形材料的镀覆
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