[实用新型]一种钛旋转靶有效
| 申请号： | 201821065048.0 | 申请日： | 2018-07-06 |
| 公开（公告）号： | CN208604200U | 公开（公告）日： | 2019-03-15 |
| 发明（设计）人： | 张晓辉;丁拉会 | 申请（专利权）人： | 宝鸡市杰特瑞金属材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京中济纬天专利代理有限公司 11429 | 代理人： | 石淑珍 |
| 地址： | 721000 陕西省*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种钛旋转靶，包括第一铜辅助部、钛靶主体、第二铜辅助部，所述第一铜辅助部、钛靶主体、第二铜辅助部顺次连接形成管状结构，所述第一铜辅助部和第二铜辅助部为对称结构，所述第一铜辅助部为台阶状结构，包括第一直径段、第二直径段、第三直径段，所述第一直径段、第二直径段、第三直径段顺次连接为一体结构，所述第一直径段外侧设置有外螺纹，所述第三直径段外侧设置有外螺纹，所述钛靶主体采用高纯钛材料制成，所述钛靶主体为T字形结构，其两侧端部设置有内螺纹，所述钛靶主体两侧端部设置的内螺纹和第三直径段外侧设置的外螺纹配合连接，装配简单，使用方便，降低了成本。 | ||
| 搜索关键词： | 直径段 辅助部 钛靶 外侧设置 外螺纹 顺次连接 钛旋转靶 内螺纹 本实用新型 台阶状结构 对称结构 管状结构 两侧端部 配合连接 一体结构 主体两侧 高纯钛 装配 | ||
【主权项】：
1.一种钛旋转靶，其特征在于，包括第一铜辅助部(1)、钛靶主体(2)、第二铜辅助部(3)，所述第一铜辅助部(1)、钛靶主体(2)、第二铜辅助部(3)顺次连接形成管状结构，所述第一铜辅助部(1)和第二铜辅助部(3)为对称结构，所述第一铜辅助部(1)为台阶状结构，包括第一直径段(11)、第二直径段(12)、第三直径段(13)，所述第一直径段(11)、第二直径段(12)、第三直径段(13)顺次连接为一体结构，所述第一直径段(11)的外径小于第二直径段的外径，所述第一直径段(11)的内径大于第二直径段(12)的内径，所述第一直径段(11)外侧设置有外螺纹，所述第三直径段(13)外径小于第二直径段(12)外径，所述第三直径段(13)内径等于第二直径段(12)外径，所述第三直径段(13)外侧设置有外螺纹，所述钛靶主体(2)采用高纯钛材料制成，所述钛靶主体(2)为T字形结构，其两端延伸的凸起环(21)套设于第三直径段(13)外，所述钛靶主体(2)两侧端部设置有内螺纹，且所述钛靶主体(2)两侧端部设置的内螺纹和第三直径段(13)外侧设置的外螺纹配合连接。
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