[实用新型]一种红外加热灯管排布结构及CVD加热系统

摘要

本实用新型涉及膜加工技术领域，尤其涉及一种红外加热灯管排布结构及CVD加热系统，包括主加热件和补偿加热件，主加热件包括多个平行排布的主加热灯管，补偿加热件包括多个补偿加热灯管，主加热灯管所在的平面与补偿加热灯管所在的平面平行或为同一平面，补偿加热灯管在主加热灯管所在的平面上的正投影与主加热灯管组成矩形，且补偿加热灯管的正投影位于矩形的四个边角处。本实用新型补偿加热件的补偿加热灯管在主加热灯管所在平面上的正投影与主加热灯管共同构成矩形，补偿加热灯管位于矩形的四个边角处，形成为主加热件的边角区域做温度补偿的结构，调节与灯管排布方向平行的方向上的温度分布，调节与灯管排布方向垂直的方向上的温度分布。

主权项

1.一种红外加热灯管排布结构，其特征在于：包括主加热件和补偿加热件，所述主加热件包括多个平行排布的主加热灯管，所述补偿加热件包括多个补偿加热灯管，所述主加热灯管所在的平面与所述补偿加热灯管所在的平面平行或为同一平面，所述补偿加热灯管在所述主加热灯管所在的平面上的正投影与所述主加热灯管组成矩形，且所述补偿加热灯管的正投影位于所述矩形的四个边角处。