[实用新型]一种用于光刻机的镭射架有效
| 申请号： | 201821038364.9 | 申请日： | 2018-07-02 |
| 公开（公告）号： | CN208334912U | 公开（公告）日： | 2019-01-04 |
| 发明（设计）人： | 何成伟 | 申请（专利权）人： | 协伟集成电路设备（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京权智天下知识产权代理事务所(普通合伙) 11638 | 代理人： | 王新爱 |
| 地址： | 201614 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于光刻机的镭射架，本实用新型具有结构合理简单、生产成本低、安装方便，功能齐全，采用镭射架的镭射架上部连接板和镭射架下部连接板上的连接杆对光刻机镭射管进行水平方向支撑，从而抑制住镭射管在水平方向的震动，确保光刻机本身震动在传递给镭射管时，其镭射管在水平方向的震动幅度在设备技术要求范围允许内；从而确保激光束能顺利通过镭射管传输给光刻机，从而保障了光刻机能正常运转，同时也确保了光刻机的产品质量，对光刻机的正常运行和产品质量保证来说是具有很大的技术进步。 | ||
| 搜索关键词： | 光刻机 镭射管 镭射 本实用新型 震动 刻机 产品质量保证 设备技术要求 上部连接板 生产成本低 下部连接板 安装方便 范围允许 技术进步 激光束 连接杆 光刻 传输 传递 支撑 | ||
【主权项】：
1.一种用于光刻机的镭射架，包括：顶层楼面(1)、底层楼面(2)、光刻机本体(3)和镭射管(4)，所述光刻机本体(3)位于顶层楼面(1)和底层楼面(2)之间，所述镭射管(4)连接在光刻机本体(3)上，其特征在于：还包括连接杆(5)和镭射架(6)；所述镭射架(6)的具体结构为：包括镭射架上部本体(61)、镭射架下部本体(62)、顶部固定板(63)、底部固定板(64)、镭射架连接板(65)、镭射架上部连接板(66)和镭射架下部连接板(67)；所述镭射架上部本体(61)的顶端上固定连接有一个顶部固定板(63)；所述镭射架上部本体(61)的末端通过螺栓固定连接在镭射架连接板(65)的上端；所述镭射架下部本体(62)的末端上固定连接有一个底部固定板(64)；所述镭射架下部本体(62)的顶端上通过螺栓固定连接在镭射架连接板(65)的下端；所述镭射架上部本体(61)上固定连接有两个相互间隔的镭射架上部连接板(66)；所述镭射架下部本体(62)上固定连接有两个相互间隔的镭射架下部连接板(67)；所述镭射架(6)与顶层楼面(1)、底层楼面(2)、镭射管(4)和连接杆(5)的之间的具体连接关系为：所述镭射架(6)的顶部固定板(63)固定连接在顶层楼面(1)上；所述镭射架(6)的底部固定板(64)固定连接在底层楼面(2)上；所述镭射架上部连接板(66)和镭射架下部连接板(67)上均固定连接有一个连接杆(5)；所述镭射管(4)滑动连接在连接杆(5)中。
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