[实用新型]MOCVD系统有效
| 申请号： | 201820791522.1 | 申请日： | 2018-05-25 |
| 公开（公告）号： | CN208328170U | 公开（公告）日： | 2019-01-04 |
| 发明（设计）人： | 林理亮;陈伟 | 申请（专利权）人： | 聚灿光电科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B25/02 | 分类号： | C30B25/02;C23C16/18;C23C16/44 |
| 代理公司： | 苏州威世朋知识产权代理事务所(普通合伙) 32235 | 代理人： | 沈晓敏 |
| 地址： | 215123 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型揭示了一种MOCVD系统，MOCVD系统包括反应装置及加热装置，反应装置包括盖体，盖体上设置有喷淋用出源孔，盖体表面和/或出源孔内在反应过程中附着有堵塞物，加热装置加热盖体而使得堵塞物呈熔融状态。本实用新型的MOCVD系统通过加热装置使得堵塞物呈熔融状态，可以简化后续的堵塞物清理过程，从而提高MOCVD系统使用效率。 | ||
| 搜索关键词： | 加热装置 堵塞物 本实用新型 反应装置 熔融状态 盖体 源孔 堵塞物清理 盖体表面 使用效率 加热盖 附着 喷淋 | ||
【主权项】：
1.一种MOCVD系统，其特征在于，包括反应装置及加热装置，所述反应装置包括盖体，所述盖体上设置有喷淋用出源孔，所述盖体表面和/或所述出源孔内在反应过程中附着有堵塞物，所述加热装置加热所述盖体而使得所述堵塞物呈熔融状态。
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