[实用新型]一种单晶炉不锈钢多次加料装置有效

专利信息
申请号: 201820770114.8 申请日: 2018-05-23
公开(公告)号: CN208717465U 公开(公告)日: 2019-04-09
发明(设计)人: 王永超;郭城;吕明;李忠泉 申请(专利权)人: 济南科盛电子有限公司
主分类号: C30B15/02 分类号: C30B15/02;C30B29/06
代理公司: 青岛高晓专利事务所(普通合伙) 37104 代理人: 黄晓敏
地址: 250200 山东省济南*** 国省代码: 山东;37
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摘要: 一种单晶硅不锈钢多次加料装置,包括连接轴,法兰一,法兰二,筒体部分,升降杆,筒底;所述的连接轴与法兰一固定在一起;所述升降杆上端固定在法兰一上并穿过法兰一和法兰二与筒底连接在一起;所述的筒体部分包括筒体和衬筒,所述筒体包裹衬筒并固定在一起;所述的筒底包括筒底一和筒底二,所述筒底一和筒底二均为半筒底。结构设计隔离了不锈钢与多晶硅的直接接触,避免了卡料现象的发生;并避免了不锈钢材质受高温影响发生化学变化影响单晶硅棒体的品质变化。
搜索关键词: 法兰 筒体 不锈钢 加料装置 连接轴 升降杆 衬筒 单晶硅 不锈钢材质 单晶硅棒体 高温影响 化学变化 卡料现象 品质变化 上端固定 单晶炉 多晶硅 半筒 穿过 隔离
【主权项】:
1.一种单晶炉不锈钢多次加料装置,其特征在于:包括连接轴(1),法兰一(5),法兰二(7),筒体部分(4),升降杆(6),筒底(18);所述的连接轴(1)与法兰一(5)固定在一起;所述升降杆(6)上端固定在法兰一(5)上并穿过法兰一(5)和法兰二(7)与筒底(18)连接在一起;所述的筒体部分(4)包括外筒体(401)和衬筒(402),所述外筒体(401)包裹衬筒(402)并固定在一起;所述的筒底(18)包括筒底一(1801)和筒底二(1802),所述筒底一(1801)和筒底二(1802)均为半筒底。
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