[实用新型]基片位置检测装置有效
| 申请号： | 201820741947.1 | 申请日： | 2018-05-17 |
| 公开（公告）号： | CN208023083U | 公开（公告）日： | 2018-10-30 |
| 发明（设计）人： | 姚立柱;张津岩;张风港;杨娜 | 申请（专利权）人： | 君泰创新（北京）科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54;C23C16/52 |
| 代理公司： | 北京尚伦律师事务所 11477 | 代理人： | 白瑶君 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区北京经*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型是关于一种基片位置检测装置。该基片位置检测装置包括：信号发射组件，发射用于进行基片位置检测的检测信号；信号接收组件，接收穿过基片传输路径的所述检测信号；信号处理组件，与所述信号接收组件通信连接，处理所述信号接收组件接收到的检测信号并生成相应的控制信号；执行机构，与所述信号处理组件通信连接，响应所述控制信号以控制基片的运动或停止。该技术方案可实现基片的精确定位，以便于控制基片的运动与停止。 | ||
| 搜索关键词： | 基片位置 信号接收组件 检测信号 检测装置 信号处理组件 控制信号 通信连接 信号发射组件 本实用新型 基片传输 穿过 发射 响应 检测 | ||
【主权项】：
1.一种基片位置检测装置，其特征在于，包括：信号发射组件，发射用于进行基片位置检测的检测信号；信号接收组件，接收穿过基片传输路径的所述检测信号；信号处理组件，与所述信号接收组件通信连接，处理所述信号接收组件接收到的检测信号并生成相应的控制信号；执行机构，与所述信号处理组件通信连接，响应所述控制信号以控制基片的运动或停止。
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