[实用新型]一种堆叠式顶升分片机构有效
| 申请号： | 201820705029.3 | 申请日： | 2018-05-13 |
| 公开（公告）号： | CN208835085U | 公开（公告）日： | 2019-05-07 |
| 发明（设计）人： | 董华强;谢威武;韩艺畴;邓小明;夏德洪 | 申请（专利权）人： | 东莞晟能自动化设备有限公司 |
| 主分类号： | H01L31/18 | 分类号： | H01L31/18;H01L21/677 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 523000 广东省东莞市南*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种堆叠式顶升分片机构，包括硅片载具，用于装入堆叠好的硅片；载具横移机构，设置在硅片载具下方并与之驱动连接，以实现驱动硅片载具沿横向方向移动；硅片升降装置，设置在载具横移机构的下方，并且与硅片载具对应设置，以实现将硅片载具内的硅片沿竖直向上的方向顶升输送；风刀机构，设置在硅片载具的旁侧，并与送风机连接，能发出有规律的气流，形成稳定的抬升力，将最顶端的硅片与下方的硅片分离；本实用新型通过在硅片载具的两侧对称设置两组风刀，风刀与风机连接，能够发出有规律的气流，形成稳定的抬升力，将最顶端的硅片以下方的硅片分离，避免叠片的情况，减少机台故障，提高产品的生产效率和品质。 | ||
| 搜索关键词： | 硅片 载具 顶升 本实用新型 分片机构 横移机构 堆叠式 抬升力 最顶端 风刀 硅片升降装置 对称设置 风刀机构 风机连接 横向方向 机台故障 驱动连接 生产效率 竖直向上 送风机 叠片 堆叠 两组 装入 驱动 移动 | ||
【主权项】：
1.一种堆叠式顶升分片机构，其特征在于：包括硅片载具，用于装入堆叠好的硅片；载具横移机构，设置在硅片载具下方并与之驱动连接，以实现驱动硅片载具沿横向方向移动；硅片升降装置，设置在载具横移机构的下方，并且与硅片载具对应设置，以实现将硅片载具内的硅片沿竖直向上的方向顶升输送；风刀机构，设置在硅片载具的旁侧，并与送风机连接，能发出有规律的气流，形成稳定的抬升力，将最顶端的硅片与下方的硅片分离。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
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