[实用新型]载台机构和蒸镀设备

摘要

本实用新型属于蒸镀技术领域，具体涉及一种载台机构和蒸镀设备。该载台机构包括用于调节相对设置的上载台、下载台的平行度的调节装置，调节装置包括检测模块、控制模块和随动模块，其中：检测模块，设置于上载台或下载台上，用于检测上载台与下载台之间的距离，并将处于不同方位象限内的位置的距离传送至控制模块；控制模块，用于接收不同方位象限内的位置的距离，并根据不同方位的距离与预设距离的差值，控制随动模块的动作；多组随动模块，每组随动模块设置于上载台与下载台的对应位置，用于调节上载台与下载台之间在该位置的距离。该载台机构解决了上载台和下载台无法实时监控平行度的问题，实现平行度自动调整，而无需人为进行测量。

主权项

1.一种载台机构，其特征在于，包括用于调节相对设置的上载台、下载台的平行度的调节装置，所述调节装置包括检测模块、控制模块和随动模块，其中：所述检测模块，设置于所述上载台或所述下载台上，用于检测所述上载台与所述下载台之间的距离，并将处于不同方位象限内的位置的距离传送至所述控制模块；所述控制模块，用于接收不同方位象限内的位置的距离，并根据不同方位的距离与预设距离的差值，控制所述随动模块的动作；多组所述随动模块，每组随动模块设置于所述上载台与所述下载台的对应位置，用于调节所述上载台与所述下载台之间在该位置的距离。