[实用新型]一种自动双室磁控蒸发真空设备有效
| 申请号： | 201820595737.6 | 申请日： | 2018-04-25 |
| 公开（公告）号： | CN208104522U | 公开（公告）日： | 2018-11-16 |
| 发明（设计）人： | 李光俊 | 申请（专利权）人： | 深圳市美格真空炉有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市坪山新区*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种自动双室磁控蒸发真空设备，包括真空室、磁控室和蒸发室，真空室的内部设置有磁控室，磁控室的一侧设有蒸发室，磁控室和蒸发室之间设置有滑轨，滑轨上设有电动滑块，蒸发室的内壁安装有温度传感器，蒸发室的外侧固定有加热板，加热板的一侧设有加热控制器，磁控室内设置有磁控靶，真空室的顶部安装有真空泵，通过设置加热板，加热蒸发室，加速蒸发，通过设置温度传感器，实时把握蒸发室内的温度，滑轨和电动滑块的配合工作，使得基片能被控制在磁控室和蒸发室内往复运动，通过设置压力表，检测真空室内的压力，防止压力异常，通过信号收发器的设置，将信息远程传递到外部控制器，实现远程控制，十分方便。 | ||
| 搜索关键词： | 磁控室 蒸发室 加热板 真空室 磁控 滑轨 室内 蒸发 温度传感器 电动滑块 蒸发真空 双室 压力表 本实用新型 加热控制器 外部控制器 信号收发器 顶部安装 加热蒸发 内部设置 压力异常 远程传递 远程控制 磁控靶 真空泵 内壁 检测 配合 | ||
【主权项】：
1.一种自动双室磁控蒸发真空设备，包括真空室(1)、磁控室(2)和蒸发室(3)，其特征在于，所述真空室(1)的内部设置有磁控室(2)，所述磁控室(2)的一侧设有蒸发室(3)，所述磁控室(2)和蒸发室(3)之间设置有滑轨(9)，所述滑轨(9)上设有电动滑块(10)，所述蒸发室(3)的内壁安装有温度传感器(7)，所述蒸发室(3)的外侧固定有加热板(6)，所述加热板(6)的一侧设有加热控制器(12)，所述磁控室(2)内设置有磁控靶(5)，所述真空室(1)的顶部安装有真空泵(4)，所述真空泵(4)的一侧真空室(1)上设有压力表(8)，所述真空室(1)的一侧设有信号收发器(11)。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于深圳市美格真空炉有限公司，未经深圳市美格真空炉有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201820595737.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种用于透面镜加工的镜片真空镀膜设备
- 下一篇：载台机构和蒸镀设备
- 同类专利
- 专利分类
