[实用新型]一种激光直写光刻设备中的双波段高精度机器视觉系统有效
| 申请号： | 201820371300.4 | 申请日： | 2018-03-19 |
| 公开（公告）号： | CN207992680U | 公开（公告）日： | 2018-10-19 |
| 发明（设计）人： | 吴琼;张琦;范云瑞;项宗齐;何少锋 | 申请（专利权）人： | 合肥芯碁微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H04N5/225;H04N7/18 |
| 代理公司： | 合肥天明专利事务所(普通合伙) 34115 | 代理人： | 王丽丽;奚华保 |
| 地址： | 230088 安徽省合肥市高新区*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种激光直写光刻设备中的双波段高精度机器视觉系统，包括图像采集系统、光电接收系统及图像输出系统；所述图像采集系统的输出端与光电接收器的输入端连接，所述光电接收器的输出端与图像输出系统的输入端连接；所述图像采集系统包括光学镜头，所述光学镜头通过照明光源采集检测物面的图像信息。本实用新型通过切换双波段环形光源的黄光、红外光的亮度比例，实现高对比度的照明；同时配合宽光谱、高精度的双侧远心镜头来保证图像采集的准确性及速度，满足激光直写光刻设备所有基底的高对比度、高精度、高速度的图像采集需求。 | ||
| 搜索关键词： | 图像采集系统 光刻设备 激光直写 双波段 机器视觉系统 图像输出系统 本实用新型 光电接收器 输入端连接 高对比度 光学镜头 图像采集 输出端 红外光 光电接收系统 采集检测 环形光源 图像信息 远心镜头 照明光源 宽光谱 黄光 基底 配合 保证 | ||
【主权项】：
1.一种激光直写光刻设备中的双波段高精度机器视觉系统，其特征在于：包括图像采集系统、光电接收系统及图像输出系统；所述图像采集系统的输出端与光电接收器的输入端连接，所述光电接收器的输出端与图像输出系统的输入端连接；所述图像采集系统包括光学镜头，所述光学镜头通过照明光源采集检测物面的图像信息。
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