[实用新型]一种用于制备石墨烯的智能型基片湿法腐蚀处理装置有效
| 申请号： | 201820306056.3 | 申请日： | 2018-03-06 |
| 公开（公告）号： | CN208594333U | 公开（公告）日： | 2019-03-12 |
| 发明（设计）人： | 王海涛 | 申请（专利权）人： | 漳州龙文区炼盛合信息技术有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/08 | 分类号： | C23F1/08;C23G3/00 |
| 代理公司： | 深圳市汉唐知识产权代理有限公司 44399 | 代理人： | 彭益宏 |
| 地址： | 363005 福建省*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种用于制备石墨烯的智能型基片湿法腐蚀处理装置，包括底座、供液机构、清洗盒、密封板、夹持机构、喷头、移动机构、控制器和排气机构，移动机构包括第一电机、缓冲块、第一驱动轴、滑块、固定杆和摆动组件，排气机构包括入气管、处理盒、加料管、加料盒和排气管，加料盒内设有加料组件，供液机构包括支柱、供液盒、第一水管、第二水管、第三水管和水泵，该用于制备石墨烯的智能型基片湿法腐蚀处理装置通过移动机构带动喷头移动对基片的各处进行冲刷清洗，去除基片表面的杂质，使气相反应沉积时石墨烯均匀分布在基片表面，不仅如此，通过排气机构吸收清洗产生的二氧化氮，防止废气危害操作人员，进一步提高了设备的实用性。 | ||
| 搜索关键词： | 石墨烯 处理装置 排气机构 湿法腐蚀 移动机构 制备 水管 供液机构 基片表面 加料盒 清洗 喷头 本实用新型 摆动组件 二氧化氮 夹持机构 加料组件 喷头移动 气相反应 控制器 处理盒 供液盒 固定杆 缓冲块 加料管 密封板 排气管 清洗盒 驱动轴 入气管 沉积 冲刷 底座 滑块 去除 水泵 废气 电机 吸收 | ||
【主权项】：
1.一种用于制备石墨烯的智能型基片湿法腐蚀处理装置，其特征在于，包括底座(1)、供液机构、清洗盒(2)、密封板(3)、夹持机构、喷头(4)、移动机构、控制器(5)和排气机构，所述供液机构、清洗盒(2)和排气机构依次设置在底座(1)的上方，所述控制器(5)固定在底座(1)的上方，所述控制器(5)内设有PLC，所述密封板(3)位于清洗盒(2)的上方，所述移动机构和夹持机构均设置在密封板(3)的下方，所述移动机构与喷头(4)传动连接，所述喷头(4)与供液机构连接；所述移动机构包括第一电机(6)、缓冲块(7)、第一驱动轴(8)、滑块(9)、固定杆(10)和摆动组件，所述第一电机(6)和固定杆(10)均固定在密封板(3)的下方，所述固定杆(10)位于第一电机(6)的远离夹持机构的一侧，所述第一电机(6)与PLC电连接，所述第一电机(6)与第一驱动轴(8)的顶端传动连接，所述缓冲块(7)位于第一驱动轴(8)的底端，所述缓冲块(7)与固定杆(10)固定连接，所述滑块(9)套设在第一驱动轴(8)和固定杆(10)上，所述滑块(9)的与第一驱动轴(8)的连接处设有与第一驱动轴(8)匹配的螺纹，所述摆动组件位于滑块(9)的靠近夹持机构的一侧；所述排气机构包括入气管(11)、处理盒(12)、加料管(13)、加料盒(14)和排气管(15)，所述处理盒(12)固定在底座(1)的上方，所述入气管(11)的一端与清洗盒(2)连通，所述入气管(11)的另一端位于处理盒(12)内的底部，所述排气管(15)位于处理盒(12)的远离入气管(11)的一侧，所述加料盒(14)通过加料管(13)固定在处理盒(12)的上方，所述加料盒(14)通过加料管(13)与处理盒(12)连通，所述加料盒(14)的上方设有盖板，所述加料盒(14)内设有加料组件。
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