[实用新型]一种便于取出硅片的硅片存放装置有效

专利信息
申请号: 201820297727.4 申请日: 2018-03-05
公开(公告)号: CN207993832U 公开(公告)日: 2018-10-19
发明(设计)人: 朱运权 申请(专利权)人: 扬州市万达光电有限公司
主分类号: H01L21/673 分类号: H01L21/673;H01L21/677
代理公司: 北京科家知识产权代理事务所(普通合伙) 11427 代理人: 陈娟
地址: 225600 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型公开了一种便于取出硅片的硅片存放装置,包括存放箱本体,所述存放箱本体的底部设置有固定箱体,所述固定箱体的外部滑动连接有活动箱体,所述固定箱体上端面的侧边转动连接有翻盖,所述固定箱体和活动箱体组成的腔体内部等距设置有多个隔板,所述隔板的一侧端面的四个拐角处均设置有凸台。本实用新型中,硅片存放装置由活动箱体、固定箱体和翻盖三部分组成,其中活动箱体和固定箱体的内部腔体通过弹簧连接有多个隔板,这样用户在需要取放硅片时,只需要打开翻盖,活动箱体会在内部弹簧的作用下向外移动,同时隔板之间的间隙扩大,便于硅片的取放,保证了硅片存放的稳定性和方便性,实用性强。
搜索关键词: 硅片 固定箱体 隔板 活动箱体 存放装置 翻盖 本实用新型 存放箱本体 取放 取出 弹簧连接 等距设置 滑动连接 间隙扩大 内部腔体 腔体内部 转动连接 方便性 拐角处 活动箱 上端 侧边 弹簧 凸台 外部 移动 保证
【主权项】:
1.一种便于取出硅片的硅片存放装置,包括存放箱本体(4),其特征在于,所述存放箱本体(4)的底部设置有固定箱体(2),所述固定箱体(2)的外部滑动连接有活动箱体(1),所述固定箱体(2)上端面的侧边转动连接有翻盖(3),所述固定箱体(2)和活动箱体(1)组成的腔体内部等距设置有多个隔板(6),所述隔板(6)的一侧端面的四个拐角处均设置有凸台(7),所述凸台(7)的上端面开设有弹簧固定凹槽(8),所述隔板(6)的另一侧端面对应凸台(7)所在位置处开设有凸台连接槽(10),所述隔板(6)的两侧端面均对称设置有夹持块(9),且相邻位置的两个隔板(6)之间的凸台连接槽(10)和弹簧固定凹槽(8)之间连接有弹簧(5)。
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