[实用新型]制绒后硅片清洗检测装置有效
| 申请号： | 201820087447.0 | 申请日： | 2018-01-18 |
| 公开（公告）号： | CN207781552U | 公开（公告）日： | 2018-08-28 |
| 发明（设计）人： | 胡琴;吴家宏;张凯胜;姚伟忠;孙铁囤 | 申请（专利权）人： | 常州亿晶光电科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;H01L21/02;H01L21/66 |
| 代理公司： | 常州市英诺创信专利代理事务所(普通合伙) 32258 | 代理人： | 郑云 |
| 地址： | 213000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及硅片制绒工艺处理技术领域，尤其是一种制绒后硅片清洗检测装置，包括PLC控制器、电阻率测试仪、报警器及装有纯水的慢提拉槽体，慢提拉槽体的上端具有溢流口，慢提拉槽体的溢流口处连通有溢流管，电阻率测试仪用于检测溢流管中液体的电阻率，PLC控制器分别与电阻率测试仪及报警器信号连接，本实用新型通过将硅片放入到装有纯水的慢提拉槽体中，然后巧妙的利用电阻率测试仪检测慢提提拉槽体中所溢流出的液体的电阻率是否发生变化，从而获知硅片是否清洗干净，确保制绒后的硅片经水洗、酸洗及再次水洗其表面不在残留化学药液，有效的避免了后续制绒后的硅片被污染的问题及对后续工艺造成影响，进而提高太阳能电池的转换效率。 | ||
| 搜索关键词： | 提拉槽 电阻率测试仪 硅片 制绒 本实用新型 硅片清洗 检测装置 电阻率 溢流管 溢流口 报警器信号 太阳能电池 工艺处理 硅片制绒 后续工艺 化学药液 再次水洗 转换效率 报警器 上端 检测 放入 获知 酸洗 连通 清洗 流出 残留 污染 | ||
【主权项】：
1.一种制绒后硅片清洗检测装置，其特征在于：包括PLC控制器(1)、电阻率测试仪(2)、报警器(3)及装有纯水的慢提拉槽体(4)，所述慢提拉槽体(4)的上端具有溢流口(4‑1)，所述慢提拉槽体(4)的溢流口(4‑1)处连通有溢流管(5)，所述电阻率测试仪(2)用于检测溢流管(5)中液体的电阻率，所述PLC控制器(1)分别与电阻率测试仪(2)及报警器(3)信号连接。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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