[实用新型]一种薄膜真空镀铝设备的铝丝蒸发装置有效
申请号: | 201820060117.2 | 申请日: | 2018-01-15 |
公开(公告)号: | CN207749180U | 公开(公告)日: | 2018-08-21 |
发明(设计)人: | 李峰杰;唐卓灿;唐炎峰;颜晓阳 | 申请(专利权)人: | 广东雄华新材料科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/26 | 分类号: | C23C14/26;C23C14/14 |
代理公司: | 汕头市高科专利事务所 44103 | 代理人: | 唐瑞玉 |
地址: | 515065 广东省*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型提供了一种薄膜真空镀铝设备的铝丝蒸发装置,该铝丝蒸发装置包括蒸发舟和位于蒸发舟左右两侧的正负电极,蒸发舟为表面具有条形凹槽的长条形高熔点金属或合金薄片,正电极和负电极为导电材料制成的支撑座,蒸发舟的两端固定于正负电极支撑座上,蒸发舟靠近负电极一侧的凹槽槽面高于靠近正电极一侧的凹槽槽面,以使蒸发舟的整个凹槽槽面成为与水平面呈4‑6°夹角的斜面,铝丝从送丝导管出来后到达蒸发舟靠近负极一侧的槽面。本实用新型的铝丝蒸发装置,铝熔液蒸发更充分,铝蒸汽在真空室内分布更加均匀,从而大大减少因铝熔液的堆积而产生喷铝点损伤基材膜的现象出现,也可避免因铝熔液的堆积过多而造成侧漏,减少浪费。 | ||
搜索关键词: | 蒸发舟 铝丝 蒸发装置 凹槽槽面 铝熔液 本实用新型 薄膜真空 正负电极 正电极 支撑座 镀铝 堆积 负电 高熔点金属 负极 导电材料 合金薄片 两端固定 送丝导管 条形凹槽 左右两侧 长条形 负电极 基材膜 铝蒸汽 槽面 侧漏 喷铝 蒸发 损伤 室内 | ||
【主权项】:
1.一种薄膜真空镀铝设备的铝丝蒸发装置,包括蒸发舟和位于蒸发舟左右两侧的正负电极,其特征在于:所述蒸发舟为表面具有条形凹槽的长条形高熔点金属或合金薄片,所述正电极和负电极为导电材料制成的支撑座,蒸发舟的两端固定于正负电极支撑座上,蒸发舟靠近负电极一侧的凹槽槽面高于靠近正电极一侧的凹槽槽面,以使蒸发舟的整个凹槽槽面成为与水平面呈4‑6°夹角的斜面,铝丝从送丝导管出来后到达蒸发舟靠近负极一侧的槽面。
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