[发明专利]一种等离子处理器以及静电夹盘加热方法有效
| 申请号： | 201811636389.3 | 申请日： | 2018-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN111383894B | 公开（公告）日： | 2022-12-30 |
| 发明（设计）人： | 倪图强;饭塚浩;吴迪;谢林;左涛涛 | 申请（专利权）人： | 中微半导体设备（上海）股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 上海元好知识产权代理有限公司 31323 | 代理人： | 张妍;刘琰 |
| 地址： | 201201 上海市浦东新*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开一种等离子处理器以及静电夹盘加热方法，反应腔内包括支撑基片的基座，射频电源连接并供应射频功率到基座，基座上包括静电夹盘和用于控制静电夹盘温度的加热系统，加热系统包括多个加热器分别用于控制静电夹盘不同区域的温度，加热系统包含：多区加热器，其包含若干个加热器；加热器驱动器，用于驱动多个加热器；控制加热器驱动器以实现控制多区加热器的功率输出进行加热的控制器，与加热器驱动器连接；控制器与主机通信连接，获取主机的指令或反馈指令给主机，实现对加热系统的控制。本发明可减少不必要的射频滤波器，便于配置设计，结构简单，小尺寸可以在满足功能的基础上，还能减轻了设计上对空间的需求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 等离子 处理器 以及 静电 加热 方法 | ||
【主权项】：
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