[发明专利]一种清理装置在审
| 申请号： | 201811574740.0 | 申请日： | 2018-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN111349895A | 公开（公告）日： | 2020-06-30 |
| 发明（设计）人： | 马坤 | 申请（专利权）人： | 北京铂阳顶荣光伏科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;B08B1/00;B08B15/04 |
| 代理公司： | 北京华夏泰和知识产权代理有限公司 11662 | 代理人： | 孟德栋 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种清理装置，涉及工业设备领域。包括：承载架和清洁组件，所述承载架能够在所述真空溅射镀膜设备内移动，所述承载架上设有第一滑道，所述第一滑道上设有第二滑道，所述第二滑道能够沿所述第一滑道往复运动，所述清洁组件设置于所述第二滑道上，所述清洁组件能够沿所述第二滑道往复运动，所述第一滑道与所述第二滑道垂直，所述清洁组件用于对真空溅射镀膜设备内部进行清洁。本发明提供的清理装置通过溅射腔室内的进口和出口出入溅射腔室，并在进入溅射腔室后对溅射腔室进行清洁。避免了对溅射腔室进行开腔清洁，既能保证溅射腔室的清洁度，也不会因开腔导致对靶材等造成污染，大大节约了人力物力。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 清理 装置 | ||
【主权项】：
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