[发明专利]气体分配器及包括它的用于多晶体硅沉积的反应器在审
| 申请号： | 201811529257.0 | 申请日： | 2014-03-19 |
| 公开（公告）号： | CN109928396A | 公开（公告）日： | 2019-06-25 |
| 发明（设计）人： | 弗里德里克·波普;克里斯蒂安·库察;马丁·勒克尔;托比亚斯·韦斯 | 申请（专利权）人： | 瓦克化学股份公司 |
| 主分类号： | C01B33/035 | 分类号： | C01B33/035;B01J4/00;B01J19/00 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 陈鹏;瞿艺 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本申请涉及一种气体分配器及包括它的用于多晶体硅沉积的反应器，气体在该气体分配器中传输，该气体分配器包括：通过能易于拆卸的固定装置气密性地连接至彼此的至少两个部分、以及至少一个气体进口孔和至少一个气体出口孔，其中，气体分配器通过能易于拆卸的固定装置安装至用于多晶体硅沉积的反应器，其中，气体分配器的至少一个气体出口孔连通地连接至反应器的至少一个气体进口孔，和/或其中，气体分配器的至少一个气体进口孔连通地连接至反应器的介质供应部的至少一个气体进给管线。 | ||
| 搜索关键词： | 气体分配器 反应器 气体进口孔 多晶体硅 沉积 气体出口孔 固定装置 地连接 拆卸 连通 介质供应 进给管线 气密 传输 申请 | ||
【主权项】：
1.一种气体分配器，气体能够在所述气体分配器中传输，所述气体分配器包括：通过能易于拆卸的紧固装置气密性地连接至彼此的至少两个部分；至少一个气体进口孔；以及至少一个气体出口孔，其中，所述气体分配器能够通过能易于拆卸的紧固装置安装至用于多晶体硅沉积的反应器，其中，所述气体分配器的所述至少一个气体出口孔连通地连接至所述反应器的至少一个气体进口孔，和/或其中，所述气体分配器的所述至少一个气体进口孔连通地连接至所述反应器的介质供应部的至少一个气体进给管线。
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