[发明专利]RF电力分配装置及RF电力分配方法有效
| 申请号： | 201811451428.2 | 申请日： | 2018-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN109950895B | 公开（公告）日： | 2020-09-08 |
| 发明（设计）人： | 洪俌汉;G·安德烈;朴坤 | 申请（专利权）人： | 康姆艾德科技韩国有限公司 |
| 主分类号： | H02J3/00 | 分类号： | H02J3/00 |
| 代理公司： | 北京青松知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11384 | 代理人： | 郑青松 |
| 地址： | 韩国京畿道水原市灵*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及向用作等离子体源的多个ICP线圈或多个CCP电极的RF电力分配装置及RF电力分配方法。本发明公开一种RF电力分配装置，所述RF电力分配装置从连接有一个以上RF发生器100的匹配网络200的输出端向供负载L1、L2、L3、L4、L5连接的多个输出端311、312、321、322、313分配电力。 | ||
| 搜索关键词： | rf 电力 分配 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种RF电力分配装置，作为从连接有一个以上RF发生器(100)的匹配网络(200)的输出端向供负载(L1、L2、L3、L4、L5)连接的多个输出端(311、312、321、322、313)分配电力的RF电力分配装置，其特征在于，包括：第一分歧点(P1)，其与所述匹配网络(200)的输出端连接；一对以上的分歧模块(M1、M2)，其包括第一输出端(311、321)及第二输出端(312、322)、分歧为所述第一输出端(311、321)及所述第二输出端(312、322)的输出端分歧点(Pt)、安装于所述输出端分歧点(Pt)及所述第一输出端(311、321)之间的输出端可变元件(420、430)；根可变元件(410)，其安装于所述一对以上的分歧模块(M1、M2)的输出端分歧点(Pt)与所述第一分歧点(P1)之间中至少一者。
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