[发明专利]多晶硅还原生产中的尾气回收方法及回收系统

摘要

本发明公开了一种多晶硅还原生产中的尾气回收方法及回收系统，该方法包括以下步骤：将多晶硅还原生产中的尾气通入解析塔进行解析分离，在解析塔的塔顶得到气相物，在解析塔的塔釜得到塔釜液，解析塔的塔顶得到的气相物包括氯化氢，解析塔的塔釜得到的塔釜液包括第一氯硅烷；将解析塔的塔釜液通入反应器中，向反应器中通入预设的催化剂，使得解析塔的塔釜液中的二氯二氢硅、四氯化硅发生反歧化反应生成三氯氢硅，在反应器内得到第二氯硅烷。反应器中采出的第二氯硅烷中的三氯氢硅质量含量比第一氯硅烷中的三氯氢硅质量含量高，提高了尾气的有效组分三氯氢硅的含量，提高了尾气附加值，降低了尾气后续精馏分离提纯的难度，及后续精馏塔的运行负荷。