[发明专利]一种气相沉积炉在审
| 申请号： | 201811427008.0 | 申请日： | 2018-11-27 |
| 公开（公告）号： | CN109306473A | 公开（公告）日： | 2019-02-05 |
| 发明（设计）人： | 戴煜;胡祥龙;周岳兵 | 申请（专利权）人： | 湖南顶立科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/52 | 分类号： | C23C16/52 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 罗满 |
| 地址： | 410005 湖南省长沙市长沙经济技术*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种气相沉积炉，包括壳体，所述壳体内腔设置有底部开口的保温室，所述保温室的底部开口处设置有密封板且所述密封板与所述保温室完全分离，所述密封板上贯穿设置有导力杆且所述导力杆与所述密封板固定连接，所述导力杆上段一直延伸至所述保温室内腔且所述导力杆顶部设置有用于工件承载的料板，所述导力杆下段贯穿所述壳体底板且所述导力杆与所述壳体完全分离，所述导力杆底部一直延伸至所述壳体外部且所述导力杆底部设置有重量传感器。本发明提供的该气相沉积炉通过其结构设计，能在线监测正在进行气相沉积的工件的重量变化，有效提高工件的处理质量。 | ||
| 搜索关键词： | 导力杆 密封板 保温室 底部开口 完全分离 沉积炉 壳体 气相沉积炉 重量传感器 顶部设置 壳体底板 壳体内腔 壳体外部 气相沉积 在线监测 重量变化 室内腔 贯穿 延伸 料板 下段 保温 承载 | ||
【主权项】：
1.一种气相沉积炉，其特征在于，包括壳体，所述壳体内腔设置有底部开口的保温室，所述保温室的底部开口处设置有密封板且所述密封板与所述保温室完全分离，所述密封板上贯穿设置有导力杆且所述导力杆与所述密封板固定连接，所述导力杆上段一直延伸至所述保温室内腔且所述导力杆顶部设置有用于工件承载的料板，所述导力杆下段贯穿所述壳体底板且所述导力杆与所述壳体完全分离，所述导力杆底部一直延伸至所述壳体外部且所述导力杆底部设置有重量传感器。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
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