[发明专利]应变测量与应力优化的方法、装置、反馈系统与记录介质在审
| 申请号： | 201811398062.7 | 申请日： | 2018-11-22 |
| 公开（公告）号： | CN111006635A | 公开（公告）日： | 2020-04-14 |
| 发明（设计）人： | 高浩哲;陈信助;陈婉心;刘玟泓 | 申请（专利权）人： | 财团法人工业技术研究院 |
| 主分类号： | G01B21/32 | 分类号： | G01B21/32;G01L1/00 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 徐协成 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明提供一种应变测量与应力优化的方法、装置、反馈系统与记录介质。在一实施例中，一种柔性基板的应变测量与应力优化方法包括分别取得柔性基板多个点的成膜前与成膜后振幅，计算柔性基板的多个点的成膜后应变值并转换为应力值。分别取得多个第一柔性基板的各第一柔性基板上所形成的单层薄膜上的多个点的振幅并转换为应变值；取得第二柔性基板上所堆迭成的多层薄膜上的多个点的振幅并转换为应变值；求解方程式得到各单层薄膜的材料系数；在应变值设为零时，固定该第一柔性基板上形成的这些单层薄膜的一部分的厚度，比对对应数值数据库，计算出所欲优化的第一柔性基板上所形成的这些单层薄膜的另一部分的厚度。 | ||
| 搜索关键词： | 应变 测量 应力 优化 方法 装置 反馈 系统 记录 介质 | ||
【主权项】：
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