[发明专利]基于可控微反射镜阵列的微型发光二极管巨量转移方法

摘要

本发明属于微型元件巨量转移相关技术领域，其公开了一种基于可控微反射镜阵列的微型发光二极管巨量转移方法，该方法包括以下步骤：(1)将红色微型发光二极管阵列、蓝色微型发光二极管阵列及绿色微型发光二极管阵列分别粘接在三个临时转移基板上；(2)分别将上述三种颜色的微型发光二极管阵列自对应的所述临时转移基板转移至透明基板上，该透明基板设置有激光释放层；(3)紫外激光经该可控微反射镜阵列后被分为三束图案化激光，该三束图案化激光分别照射于三种微型发光二极管所连接的激光释放层上，进而使三种颜色的微型发光二极管选择性地转移至目标基板上。本发明提高了转移效率，且可同时转移红、绿、蓝三种颜色的微型发光二极管。

主权项

1.一种基于可控微反射镜阵列的微型发光二极管巨量转移方法，其特征在于：(1)将分别制备在蓝宝石基板上的红色微型发光二极管阵列、蓝色微型发光二极管阵列及绿色微型发光二极管阵列分别粘接在三个临时转移基板上，并将所述红色微型发光二极管阵列、所述蓝色微型发光二极管阵列及所述绿色微型发光二极管阵列分别与各自对应的所述蓝宝石基板分离；(2)分别将所述红色微型发光二极管阵列、所述绿色微型发光二极管阵列及所述蓝色微型发光二极管阵列自对应的所述临时转移基板转移至透明基板上，所述透明基板设置有激光释放层，所述激光释放层包括激光作用层及设置在所述激光作用层上的粘结层，所述激光作用层粘接在所述透明基板上，所述红色微型发光二极管阵列、所述绿色微型发光二极管阵列及所述蓝色微型发光二极管阵列分别设置于所述粘接层上；(3)将一束紫外激光引入到可控微反射镜阵列，所述紫外激光经所述可控微反射镜阵列后被分为三束图案化激光，所述三束图案化激光分别照射于所述红色微型发光二极管阵列、所述绿色微型发光二极管阵列及所述蓝色微型发光二极管阵列所连接的激光释放层上，被激光照射的所述激光释放层分别吸收激光能量以推动其各自连接的红色微型发光二极管、蓝色微型发光二极管及绿色微型发光二极管选择性地转移至目标基板上。