[发明专利]一种蒸镀设备及蒸镀方法有效
| 申请号： | 201811296070.0 | 申请日： | 2018-11-01 |
| 公开（公告）号： | CN109112489B | 公开（公告）日： | 2021-01-15 |
| 发明（设计）人： | 金明洙 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;绵阳京东方光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/04;H01L51/56 |
| 代理公司： | 北京润泽恒知识产权代理有限公司 11319 | 代理人： | 莎日娜 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本申请提供了一种蒸镀设备及蒸镀方法，其中，所述蒸镀设备包括：蒸镀腔室，以及位于所述蒸镀腔室内部的供应装置、加热装置、压合装置和蒸镀装置，供应装置用于提供掩膜板和基板；加热装置用于对掩膜板进行加热，以使掩膜板膨胀；压合装置用于将膨胀的掩膜板与基板进行压合；蒸镀装置用于对完成压合后的基板进行蒸镀。本申请实施例提供的蒸镀设备，通过加热装置将掩模板加热到膨胀状态，然后通过压合装置将膨胀状态下的掩模板与基板进行压合，膨胀状态下的掩膜板能够与基板之间进行更紧密地贴合，减小掩模板与基板之间的缝隙，从而提高蒸镀精度和蒸镀质量，并且可以进一步提升蒸镀设备的信赖性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 设备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种蒸镀设备，其特征在于，所述蒸镀设备包括：蒸镀腔室，以及位于所述蒸镀腔室内部的供应装置、加热装置、压合装置和蒸镀装置，所述供应装置，用于提供掩膜板和基板；所述加热装置，用于对所述掩膜板进行加热，以使所述掩膜板膨胀；所述压合装置，用于将膨胀的掩膜板与所述基板进行压合；所述蒸镀装置，用于对完成压合后的基板进行蒸镀。
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