[发明专利]一种温盐溶解氧传感器及其制备方法在审
| 申请号： | 201811295868.3 | 申请日： | 2018-11-01 |
| 公开（公告）号： | CN111121861A | 公开（公告）日： | 2020-05-08 |
| 发明（设计）人： | 尚海平;曹治;王英辉;王玮冰 | 申请（专利权）人： | 中科院微电子研究所昆山分所 |
| 主分类号： | G01D21/02 | 分类号： | G01D21/02;G01K7/18;G01N27/00;G01N27/02 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 罗满 |
| 地址： | 215347 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种温盐溶解氧传感器，在衬底的表面设置有相互绝缘的温度工作电极、电导率工作电极和溶解氧工作电极。其中电导率工作电极以及温度工作电极使得衬底中同时集成有温度传感器以及电导率传感器；其中隔离层覆盖溶解氧工作电极的区域设置有使溶解氧工作电极与待测溶液相接触的阵列孔，从而构成井式结构的无薄膜溶解氧传感器，实现在同一衬底中集成有温度传感器、电导率传感器以及溶解氧传感器。本发明还提供了一种温盐溶解氧传感器的制备方法，所制备而成的温盐溶解氧传感器同样具有上述有益效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 盐溶 传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中科院微电子研究所昆山分所，未经中科院微电子研究所昆山分所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201811295868.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种充电机控制系统和方法
- 下一篇：一种电导率传感器的制备方法及电导率传感器
