[发明专利]掺杂型金刚石粉的制备方法在审
申请号: | 201811293399.1 | 申请日: | 2018-11-01 |
公开(公告)号: | CN111115625A | 公开(公告)日: | 2020-05-08 |
发明(设计)人: | 唐永炳;陈波;王陶;欧学武;孟醒 | 申请(专利权)人: | 深圳先进技术研究院 |
主分类号: | C01B32/26 | 分类号: | C01B32/26 |
代理公司: | 深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙) 44316 | 代理人: | 吴乃壮 |
地址: | 518055 广东省深圳*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明公开了一种掺杂型金刚石粉的制备方法,涉及金刚石制备技术领域。掺杂型金刚石粉的制备方法包括以下步骤:利用热丝化学气相沉积法在基体上沉积掺杂型金刚石薄膜,在冷却过程中使掺杂型金刚石薄膜从基体上自然脱落,然后对脱落的掺杂型金刚石薄膜碎片进行粉碎和去杂,得到掺杂型金刚石粉。本发明利用金刚石与基体之间具有较大的热膨胀系数差异,在冷却过程中由于较大热应力的作用,掺杂型金刚石薄膜会从基体上脱落,从而反向得到掺杂型金刚石粉。该方法最终得到的金刚石粉体中掺杂元素分布均匀。整个制备过程工艺简单,生产过程安全、无需采用氢氟酸腐蚀基体,生产过程容易控制,能够制备不同掺杂元素量的金刚石粉。 | ||
搜索关键词: | 掺杂 金刚石 制备 方法 | ||
【主权项】:
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