[发明专利]探针对准设备有效
| 申请号： | 201811286959.0 | 申请日： | 2018-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN111122924B | 公开（公告）日： | 2022-05-17 |
| 发明（设计）人： | 王友延;林佳宏;翁思渊;黄国玮 | 申请（专利权）人： | 致茂电子(苏州)有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/067 | 分类号： | G01R1/067;G01C11/02 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 梁挥;许志影 |
| 地址： | 215011 江苏省苏州市苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明有关于一种探针对准设备，用以将一探针元件对准一待测物。此探针对准设备包括一分光元件与一影像感测装置。其中，分光元件用以设置于待测物与探针元件间。此分光元件具有一第一出光面、一第二出光面与一入光面。第一出光面与第二出光面分别面对探针元件与待测物。影像感测装置设置于分光元件的一入光面。其中，分光元件将第一出光面所接收的一探针元件影像与第二出光面所接收的一待测物影像通过入光面向外发送。影像感测装置撷取探针元件影像与待测物影像以进行对位。 | ||
| 搜索关键词： | 探针 对准 设备 | ||
【主权项】：
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