[发明专利]带电粒子束描绘装置以及带电粒子束描绘方法有效
| 申请号： | 201811220010.0 | 申请日： | 2018-10-19 |
| 公开（公告）号： | CN109698106B | 公开（公告）日： | 2021-03-12 |
| 发明（设计）人： | 中山贵仁 | 申请（专利权）人： | 纽富来科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/28 | 分类号： | H01J37/28;H01L21/66 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 戚宏梅 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及带电粒子束描绘装置及带电粒子束描绘方法。具备：描绘部，对载置于工作台的描绘对象的基板照射带电粒子束来描绘图案；标记基板，设置在工作台上，形成有标记；照射位置检测器，通过带电粒子束对标记的照射检测标记表面上的带电粒子束的照射位置；高度检测器，通过激光的照射及反射光的接受检测基板表面的高度及标记基板表面的高度；漂移校正部，根据检测出的照射位置计算标记表面上的带电粒子束的漂移量，据此计算漂移校正量；描绘控制部，使用漂移校正量校正带电粒子束的照射位置，标记基板具有形成多个标记的图案区域和未形成图案的非图案区域，非图案区域的至少一部分配置在图案区域间，高度检测器检测非图案区域内的检测点的高度。 | ||
| 搜索关键词： | 带电 粒子束 描绘 装置 以及 方法 | ||
【主权项】：
1.一种带电粒子束描绘装置，其特征在于，具备：描绘部，对载置于工作台的作为描绘对象的基板照射带电粒子束而描绘图案；标记基板，设置在所述工作台上，形成有标记；照射位置检测器，通过所述带电粒子束对所述标记的照射来检测所述标记表面上的所述带电粒子束的照射位置；高度检测器，通过激光的照射及反射光的接受来检测所述基板的表面的高度及所述标记基板的表面的高度；漂移校正部，根据由所述照射位置检测器检测出的所述照射位置来计算所述标记表面上的所述带电粒子束的漂移量，并基于该漂移量来计算漂移校正量；以及描绘控制部，使用所述漂移校正量来校正所述带电粒子束的照射位置，所述标记基板具有形成有多个所述标记的图案区域、以及未形成图案的非图案区域，该非图案区域的至少一部分配置在该图案区域之间，所述高度检测器检测所述非图案区域内的检测点的高度。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于纽富来科技股份有限公司，未经纽富来科技股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201811220010.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
