[发明专利]介质阻挡放电离子源、分析仪器及电离方法有效
申请号: | 201811212474.7 | 申请日: | 2018-10-18 |
公开(公告)号: | CN109243964B | 公开(公告)日: | 2021-02-09 |
发明(设计)人: | 林一明;孙文剑 | 申请(专利权)人: | 株式会社岛津制作所 |
主分类号: | H01J49/10 | 分类号: | H01J49/10;H01J49/04;H01J49/26 |
代理公司: | 上海立群专利代理事务所(普通合伙) 31291 | 代理人: | 杨楷;毛立群 |
地址: | 日本国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明供了一种介质阻挡放电离子源,包括介质阻挡放电管以及由第一电极和第二电极组成的电极对,所述介质阻挡放电管的至少一部分设置于所述第一电极和所述第二电极之间,所述电极对通电后能够对样品进行电离,所述介质阻挡放电管与真空部连通,所述介质阻挡放电管内的气压范围为0.01‑100Pa。本发明提供的介质阻挡放电离子源弥补了现有低气压离子源在该气压范围内的缺陷,提供了一种电离能力强、通用性好且装置简单的低气压离子源。 | ||
搜索关键词: | 介质 阻挡 放电 离子源 分析仪器 电离 方法 | ||
【主权项】:
1.一种介质阻挡放电离子源,包括介质阻挡放电管以及由第一电极和第二电极组成的电极对,所述介质阻挡放电管的至少一部分设置于所述第一电极和所述第二电极之间,所述电极对通电后能够对样品进行电离,其特征在于,所述介质阻挡放电管与真空部连通,所述介质阻挡放电管内的气压范围为0.01‑100Pa。
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