[发明专利]提纯三氯氢硅的方法有效

专利信息
申请号: 201811141132.0 申请日: 2018-09-28
公开(公告)号: CN108946743B 公开(公告)日: 2020-09-25
发明(设计)人: 刘见华;万烨;赵雄;严大洲;赵宇;常欣 申请(专利权)人: 洛阳中硅高科技有限公司;中国恩菲工程技术有限公司
主分类号: C01B33/107 分类号: C01B33/107
代理公司: 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 代理人: 韩建伟;金田蕴
地址: 471023 河南省*** 国省代码: 河南;41
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摘要: 发明公开了一种提纯三氯氢硅的方法。该方法包括以下步骤:S1,将三氯氢硅原料与氯气和氧气在光源催化下进行反应,得到的反应产物;S2,对反应产物进行精密过滤,将反应产物中的固体和反应液体产物分离;以及S3,将反应液体产物输入精馏塔脱除杂质、轻组分和重组分后得到三氯氢硅产品。应用本发明的技术方案,采用反应精馏工艺,将原料中的低氯含量的甲基氯硅烷通过反应转化为高氯含量的甲基氯硅烷,同时,将B、P等转化为高沸点络合物,再通过精馏进行分离,最终得到高纯的三氯氢硅。
搜索关键词: 提纯 三氯氢硅 方法
【主权项】:
1.一种提纯三氯氢硅的方法,其特征在于,包括以下步骤:S1,将三氯氢硅原料与氯气和氧气在光源催化下进行反应,得到的反应产物;S2,对所述反应产物进行精密过滤,将所述反应产物中的固体和反应液体产物分离;以及S3,将所述反应液体产物输入精馏塔脱除杂质、轻组分和重组分后得到三氯氢硅产品。
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