[发明专利]一种薄膜传感器及其制备方法有效
| 申请号： | 201811099246.3 | 申请日： | 2018-09-20 |
| 公开（公告）号： | CN109273588B | 公开（公告）日： | 2023-10-24 |
| 发明（设计）人： | 秦云科;刘英明;曹学友;郭玉珍;王海生;李治福 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | H10N30/80 | 分类号： | H10N30/80;H10N30/00;H10N30/03 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人： | 郭润湘 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种薄膜传感器及其制备方法，用以提升薄膜传感器的性能。本申请实施例提供的一种薄膜传感器，所述薄膜传感器包括：第一基板、第二基板、以及将所述第一基板和所述第二基板贴合的导电部件；所述第一基板包括：薄膜晶体管，所述第二基板包括：传感器件，所述薄膜晶体管与所述传感器件通过所述导电部件电连接。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 薄膜 传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种薄膜传感器，其特征在于，所述薄膜传感器包括：第一基板、第二基板、以及将所述第一基板和所述第二基板贴合的导电部件；所述第一基板包括：薄膜晶体管，所述第二基板包括：传感器件，所述薄膜晶体管与所述传感器件通过所述导电部件电连接。
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