[发明专利]一种声表面波薄膜空腔谐振器在审
| 申请号： | 201811096342.2 | 申请日： | 2018-09-19 |
| 公开（公告）号： | CN108880503A | 公开（公告）日： | 2018-11-23 |
| 发明（设计）人： | 刘月 | 申请（专利权）人： | 刘月 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02;H03H9/05;H03H9/145;H03H9/17 |
| 代理公司： | 广东广和律师事务所 44298 | 代理人： | 王少强 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市福*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种声表面波薄膜空腔谐振器，包括基板、设置于所述基板上部的压电材料层以及处于该所述压电材料层上部的换能器组件；所述基板上开设有用于增强换能器组件产生的声表面波反射性能的表面波反射空腔；所述换能器组件包括发送换能器单元以及接收换能器单元；且该发送换能器单元包括用于形成反压电效应、产生弹性形变、生成声表面波的第一金属电极组件以及与所述第一金属电极组件电性连接的信号源单元，利用表面波反射空腔对压电材料层生产的声表面波进行反射，最终使得声表面波能够有效的通过压电材料层进行传播，避免了传统结构中声表面波被基板吸收的不良效果，更有利于滤波器功能的实现，效果突出。 | ||
| 搜索关键词： | 声表面波 压电材料层 换能器组件 基板 发送换能器 空腔谐振器 反射空腔 金属电极 表面波 薄膜 声表面波反射 接收换能器 滤波器功能 信号源单元 不良效果 传统结构 弹性形变 基板上部 压电效应 组件电性 反射 吸收 传播 生产 | ||
【主权项】：
1.一种声表面波薄膜空腔谐振器，其特征在于：包括基板、设置于所述基板上部的压电材料层以及处于该所述压电材料层上部的换能器组件；所述基板上开设有用于增强换能器组件产生的声表面波反射性能的表面波反射空腔；所述换能器组件包括发送换能器单元以及接收换能器单元；且该发送换能器单元包括用于形成反压电效应、产生弹性形变、生成声表面波的第一金属电极组件以及与所述第一金属电极组件电性连接的信号源单元；所述接收换能器单元包括用于形成正压电效应、产生电信号的第二金属电极组件以及与所述第二金属电极组件电性连接的单元组件。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于刘月，未经刘月许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201811096342.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种高性能表面波滤波器
- 下一篇：用于激励晶体振荡电路的方法以及电路
