[发明专利]气流辅助驱动超声研磨微细孔装置

摘要

气流辅助驱动超声研磨微细孔装置。主要解决现在在超声波研磨的时候，只是简单的研磨，研磨液的空化效率不高而且磨屑不易于排除的问题。本发明提供气流辅助驱动超声研磨微细孔装置，包括对应设置的超声发生器和换能器，换能器一端设有变幅杆，变幅杆一端连接有与工件对应设置的研磨头；还包括用于向工件注入研磨液的研磨液注入器；气流输入机构包括空气压缩机，空气压缩机通过导气管与研磨头连通，研磨头周向外壁上设有若干第一通孔。由超声震动机构产生一个超声频机械震荡，传递到研磨头，研磨头对工件进行研磨；然后通过气流输入机构冲入气流，且该气流从研磨头外壁的第一通孔流出，对工件及研磨液进行冲刷，增加了研磨液的空化效率而且利于排除磨屑。

主权项

1.气流辅助驱动超声研磨微细孔装置，其特征在于：包括超声震动机构、气流输入机构和用于放置工件（31）的工件放置平台（3）；/n所述超声震动机构包括对应设置的超声发生器（11）和换能器（12），所述换能器（12）一端设有变幅杆（13），所述变幅杆（13）一端连接有与所述工件（31）对应设置的研磨头（14）；/n还包括用于向所述工件（31）注入研磨液的研磨液注入器（15）；/n所述气流输入机构包括空气压缩机（21），所述空气压缩机（21）通过导气管（24）与所述研磨头（14）连通，所述研磨头（14）周向外壁上设有若干第一通孔（141），/n所述第一通孔（141）的横截面为扇环形面,所述第一通孔（141）沿所述研磨头（14）径向延伸,所述研磨头（14）轴向还设有第二通孔（142）。/n