[发明专利]蒸镀源、蒸镀装置有效
申请号: | 201811003679.4 | 申请日: | 2018-08-30 |
公开(公告)号: | CN108677148B | 公开(公告)日: | 2021-08-20 |
发明(设计)人: | 孙力 | 申请(专利权)人: | 合肥鑫晟光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司 |
主分类号: | C23C14/24 | 分类号: | C23C14/24;C23C14/12 |
代理公司: | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人: | 柴亮;张天舒 |
地址: | 230012 *** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 本发明提供一种蒸镀源、蒸镀装置,属于显示技术领域。本发明的蒸镀源,包括蒸镀本体,设置在所述蒸镀本体开口端的盖体;还包括喷嘴,所述喷嘴能够设置在所述盖体的边缘,且与所述盖体贯通连接,且在所述喷嘴与所述盖体贯通连接时,所述喷嘴向远离所述盖体的中心区域的方向倾斜。 | ||
搜索关键词: | 蒸镀源 装置 | ||
【主权项】:
1.一种蒸镀源,包括蒸镀本体,设置在所述蒸镀本体开口端的盖体;其特征在于,还包括喷嘴,所述喷嘴能够设置在所述盖体的边缘区域,且与所述盖体贯通连接,且在所述喷嘴与所述盖体贯通连接时,所述喷嘴向远离所述盖体的中心区域的方向倾斜。
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