[发明专利]具有反向偏压机制的堆叠SOI半导体装置在审

专利信息
申请号: 201810926212.0 申请日: 2018-08-15
公开(公告)号: CN109509750A 公开(公告)日: 2019-03-22
发明(设计)人: 巴特罗梅·帕拉克 申请(专利权)人: 格芯公司
主分类号: H01L27/088 分类号: H01L27/088;H01L21/8234
代理公司: 北京戈程知识产权代理有限公司 11314 代理人: 程伟;王锦阳
地址: 英属开曼群*** 国省代码: 开曼群岛;KY
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摘要: 发明涉及具有反向偏压机制的堆叠SOI半导体装置,其中,一半导体装置包括至少两个堆叠SOI层或配置,各该SOI层或配置可包括基于一给定技术节点形成的晶体管元件。至少该顶层的设备层可包括用于提供相应晶体管元件的优越可控性的一反向偏压机制。在一些说明性实施例中,至少两个堆叠SOI配置可在其中实现一反向偏压机制,其中,提供一适当的接触方式以便连接到各堆叠设备层对应的埋置绝缘层下方的相应导电区域或层。因此,在一给定技术节点的基础上,可以提高横向封装密度。
搜索关键词: 反向偏压 堆叠 半导体装置 晶体管元件 技术节点 配置 埋置绝缘层 导电区域 堆叠设备 接触方式 可控性 设备层 顶层 封装
【主权项】:
1.一种半导体装置,包括:第一半导体层,形成于第一埋置绝缘层上;第一电路元件,形成于该第一半导体层之中及该第一半导体层上方;导电层,形成于该第一电路元件上方;第二埋置绝缘层,形成于该导电层上;以及第二半导体层,形成于该第二埋置绝缘层上。
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