[发明专利]基板处理装置及方法在审
| 申请号： | 201810829843.0 | 申请日： | 2018-07-25 |
| 公开（公告）号： | CN109297262A | 公开（公告）日： | 2019-02-01 |
| 发明（设计）人： | 李龙熙;李暎熏 | 申请（专利权）人： | 细美事有限公司 |
| 主分类号： | F26B1/00 | 分类号： | F26B1/00;F26B3/04;F26B9/04;F26B21/00;F26B25/00 |
| 代理公司： | 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 | 代理人： | 申健 |
| 地址： | 韩国忠淸南道天安*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 公开了一种用于干燥基板的装置和方法。用于干燥基板的装置包括内部具有处理空间的腔室、在所述处理空间内配置为支撑基板的基板支撑单元、配置为在水平状态和倾斜状态之间对通过所述基板支撑单元支撑的基板状态进行转换的转换单元、配置为向所述处理空间供应干燥流体的流体供应单元、以及设置为控制所述转换单元和所述流体供应单元的控制器。依据本发明构思的实施例，由于通过转换基板状态为倾斜状态可以使存留在基板上的一部分液体流下来，并随后通过使用干燥流体去除残留在基板上的剩余液体，因此可以缩短干燥基板的时间。 | ||
| 搜索关键词： | 处理空间 干燥基板 基板支撑单元 流体供应单元 干燥流体 倾斜状态 转换单元 基板 配置 基板处理装置 发明构思 基板状态 剩余液体 水平状态 支撑基板 转换基板 控制器 液体流 腔室 去除 残留 转换 支撑 | ||
【主权项】：
1.一种用于干燥基板的装置，所述装置包括：腔室，所述腔室内部具有处理空间；基板支撑单元，所述基板支撑单元配置为在所述处理空间内支撑基板；转换单元，所述转换单元配置为将由所述基板支撑单元支撑的基板的状态在水平状态和倾斜状态之间进行转换；流体供应单元，所述流体供应单元配置为向所述处理空间供应干燥流体；以及控制器，所述控制器配置为控制所述转换单元和所述流体供应单元。
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