[发明专利]一种钇铝石榴石晶体的损伤检测方法在审
| 申请号： | 201810679385.7 | 申请日： | 2018-06-27 |
| 公开（公告）号： | CN108519071A | 公开（公告）日： | 2018-09-11 |
| 发明（设计）人： | 金洙吉;安润莉;王昌瑞;韩晓龙;张自力 | 申请（专利权）人： | 大连理工大学 |
| 主分类号： | G01B21/08 | 分类号： | G01B21/08;G01B11/06;G01N5/00 |
| 代理公司： | 大连理工大学专利中心 21200 | 代理人： | 李晓亮;潘迅 |
| 地址： | 116024 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明属于硬脆材料超精密加工领域，涉及一种钇铝石榴石晶体的损伤检测方法。利用磷酸对YAG晶体表面进行刻蚀，通过称重法计算刻蚀深度，以无机械加工损伤对比工件的刻蚀深度做归一化处理，绘制相对于无机械加工损伤工件刻蚀深度的倍数与相对保温时间的曲线图，获得损伤层完全去除的时间点，并计算该时刻刻蚀深度，得到损伤层厚度。该方法在测量YAG晶体的损伤层的过程中不会严重破坏晶体形状，同时具有操作简便、测量精度高等特点。 | ||
| 搜索关键词： | 刻蚀 损伤层 钇铝石榴石晶体 无机械加工 损伤检测 损伤 测量 超精密加工 归一化处理 晶体形状 硬脆材料 称重法 时间点 磷酸 去除 保温 绘制 | ||
【主权项】：
1.一种钇铝石榴石晶体的损伤检测方法，其特征在于，包含以下步骤：第一步，将加工得到的被检测工件钇铝石榴石YAG晶体置于化学反应釜中，并加入85％的磷酸，使YAG晶体与磷酸充分接触，密封反应釜并置于加热设备中；第二步，调节加热温度及保温时间，在180℃条件下保温并进行刻蚀；刻蚀完成后室温冷却，称量并记录质量；第三步，每片多次称量取平均值，通过称重法计算刻蚀深度，以无机械加工损伤对比工件的刻蚀深度做归一化处理；第四步，重复第二步、第三步，绘制相对于无机械加工损伤工件刻蚀深度的倍数与相对保温时间的曲线图；根据刻蚀速度及损伤层厚度确定总刻蚀时间；第五步，在曲线图中工件刻蚀速度与无机械加工损伤工件刻蚀速度相交点或斜率变为正数的转折点即为损伤层完全去除的时间点，将该时刻工件刻蚀深度之和除以2，即为单面的损伤层厚度。
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