[发明专利]蒸镀装置及蒸镀方法有效
| 申请号： | 201810609169.5 | 申请日： | 2018-06-13 |
| 公开（公告）号： | CN108677147B | 公开（公告）日： | 2020-04-21 |
| 发明（设计）人： | 贾文斌;孙力;施槐庭 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;合肥鑫晟光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京三高永信知识产权代理有限责任公司 11138 | 代理人： | 杨广宇 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种蒸镀装置及蒸镀方法，属于显示领域。所述蒸镀装置包括：蒸镀基台、蒸镀源基台、移动组件和至少两组蒸镀源，每组蒸镀源包括至少一个蒸镀源；所述蒸镀基台用于固定待蒸镀的基板；所述移动组件与所述蒸镀源基台固定连接，所述移动组件用于带动所述蒸镀源基台由所述待蒸镀的基板的一端移动至所述待蒸镀的基板的另一端；所述至少两组蒸镀源沿所述蒸镀源基台的移动方向，依次固定设置在所述蒸镀源基台靠近所述蒸镀基台的一侧，所述至少两组蒸镀源在同一时刻的有效蒸镀面积不重叠，其中，每组蒸镀源用于在所述蒸镀过程中形成一个蒸镀膜层。本发明有效地提高了蒸镀装置的蒸镀效率。本发明用于制造显示面板中的膜层。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种蒸镀装置，其特征在于，所述蒸镀装置包括：蒸镀基台、蒸镀源基台、移动组件和至少两组蒸镀源，每组蒸镀源包括至少一个蒸镀源；所述蒸镀基台用于固定待蒸镀的基板；所述移动组件与所述蒸镀源基台固定连接，所述移动组件用于带动所述蒸镀源基台由所述待蒸镀的基板的一端移动至所述待蒸镀的基板的另一端；所述至少两组蒸镀源沿所述蒸镀源基台的移动方向，依次固定设置在所述蒸镀源基台靠近所述蒸镀基台的一侧，所述至少两组蒸镀源在同一时刻的有效蒸镀面积不重叠，其中，每组蒸镀源用于在所述蒸镀过程中形成一个蒸镀膜层。
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