[发明专利]六氟化硫样品气体分解产物富集、解析装置

摘要

本发明公开了一种六氟化硫样品气体分解产物富集、解析装置，包括真空系统和富集与解析系统，真空系统包括机械泵、腔体和真空计；富集与解析系统包括制冷机、捕集管、加热棒、步进电机和固定模块，制冷机的制冷端位于腔体内部，捕集管和加热棒设置于固定模块上，固定模块设置于由步进电机驱动的轨道上，固定模块在步进电机的作用下做靠近或远离制冷机的制冷端的运动。通过控制捕集管靠近或远离制冷机制冷端以及在加热棒作用下来实现捕集管的冷却或加热，从而实现富集和解析，无需采用液态或者气态介质制冷，体积小，便于集成化设计，携带方便，稳定性高，可以连续长时间的运行，便于整个富集、解析系统的小型化设计，非常适合在线分析。

主权项

1.一种六氟化硫样品气体分解产物富集、解析装置，包括真空系统和富集与解析系统，其特征在于：所述真空系统包括机械泵（6）、中空密闭的腔体（7）和真空计（8），所述机械泵（6）通过管路与所述腔体（7）连接，所述真空计（8）设置于所述腔体（7）的侧壁上，所述腔体（7）上还设置有用以给管线进出的开孔；所述富集与解析系统包括制冷机（9）、捕集管（10）、加热棒（13）、步进电机（14）和固定模块（12），所述制冷机（9）设置于所述腔体（7）的侧壁上，所述制冷机（9）的制冷端位于所述腔体（7）内部，所述步进电机（14）设置于所述腔体（7）内部，所述捕集管（10）和加热棒（13）设置于所述固定模块（12）上，所述固定模块（12）设置于由所述步进电机（14）驱动的轨道上，所述固定模块（12）在所述步进电机（14）的作用下做靠近或远离所述制冷机（9）的制冷端的运动；所述捕集管（10）一头连接有进气管（17），另一头连接有出气管（18），所述进气管（17）和出气管（18）分别通过开孔进出所述腔体（7）。