[发明专利]用于热处理设备的冷却装置及热处理设备在审

申请号：	201810585759.9	申请日：	2018-06-08
公开（公告）号：	CN110527989A	公开（公告）日：	2019-12-03
发明（设计）人：	邱江虹;刘红丽	申请（专利权）人：	北京北方华创微电子装备有限公司
主分类号：	C23C16/56	分类号：	C23C16/56;C30B31/00;C30B33/00;C30B33/02;H01L21/02
代理公司：	11218 北京思创毕升专利事务所	代理人：	孙向民;廉莉莉<国际申请>=<国际公布>
地址：	100176 北京市大***	国省代码：	北京;11
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摘要：	一种用于热处理设备的冷却装置及包括该冷却装置的热处理设备，冷却装置包括通过管道依次连接的风门、热交换器、风机和进气阀，风门用于连接至热处理设备的排气口，进气阀用于连接至热处理设备的进气口。冷却装置可以实现空气循环利用，不使用净化间内的空气，因此不会造成净化间内压力下降，避免影响本机台和其他机台的工艺，有效保证了产品质量，也不会造成净化间内空气浪费，降低制造成本。
搜索关键词：	热处理设备冷却装置净化间机台进气阀风门进气口空气循环热交换器依次连接制造成本内压力排气口风机保证
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【主权项】：

1.一种用于热处理设备的冷却装置，其特征在于，包括通过管道依次连接的风门、热交换器、风机和进气阀，所述风门用于连接至所述热处理设备的排气口，所述进气阀用于连接至所述热处理设备的进气口。/n

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一种PECVD方式生长致密薄膜的方法-201910981152.7
发明人：范思大;崔虎山;邹志文;丁光辉;邹荣园;吴志浩;许开东;陈璐 -专利权人：江苏鲁汶仪器有限公司
申请日： 2019-10-16 - 公布日： 2020-01-14 - 主分类号： C23C16/56
摘要：本发明公开了一种PECVD方式生长致密薄膜的方法，首先是通过PECVD方式沉积介质薄膜后，采用惰性气体轰击上述介质薄膜的方式增加薄膜致密性；所述惰性气体选自氩气（Ar）、氦气（He）、氙气（Xe）、氖气（Ne）、氢气（H

家用电器的外装材料和包括其的家用电器及其制造方法-201880028121.3
发明人：申铉锡;金光柱;高永德;郭晋吾;卞大贤;柳永珉;李京焕;李旻暻 -专利权人：三星电子株式会社
申请日： 2018-04-19 - 公布日： 2019-12-13 - 主分类号： C23C16/56
摘要：本发明公开了一种通过改变外装材料表面的处理方式而提高了耐腐蚀性、耐指纹性的家用电器的外装材料和包括其的家用电器及其制造方法。本发明的一实施例包括如下步骤：在基材上部应用DLC涂覆而形成DLC涂层；为了在所述DLC涂层上部形成耐指纹性涂层而进行耐指纹性涂覆。

用于热处理设备的冷却装置及热处理设备-201810585759.9
发明人：邱江虹;刘红丽 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2018-06-08 - 公布日： 2019-12-03 - 主分类号： C23C16/56
摘要：一种用于热处理设备的冷却装置及包括该冷却装置的热处理设备，冷却装置包括通过管道依次连接的风门、热交换器、风机和进气阀，风门用于连接至热处理设备的排气口，进气阀用于连接至热处理设备的进气口。冷却装置可以实现空气循环利用，不使用净化间内的空气，因此不会造成净化间内压力下降，避免影响本机台和其他机台的工艺，有效保证了产品质量，也不会造成净化间内空气浪费，降低制造成本。

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