[发明专利]一种基于碳化硅PN结型β辐射伏特效应核电池在审
| 申请号： | 201810585576.7 | 申请日： | 2018-06-08 |
| 公开（公告）号： | CN110444313A | 公开（公告）日： | 2019-11-12 |
| 发明（设计）人： | 陆景彬;刘玉敏;许旭;何瑞;李潇祎;郑人洲 | 申请（专利权）人： | 吉林大学 |
| 主分类号： | G21H1/06 | 分类号： | G21H1/06;G21H1/02 |
| 代理公司： | 长春市恒誉专利代理事务所(普通合伙) 22212 | 代理人： | 李荣武 |
| 地址： | 130012 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于碳化硅PN结型β辐射伏特效应核电池，其基本结构包括：纯β放射源、碳化硅PN结器件和电池外壳。利用微波等离子体化学气相沉积技术和离子注入技术制备碳化硅PN结结构，采用半导体微加工工艺和电子束蒸发镀膜技术生成欧姆接触电极，再将纯β放射源耦合加载到碳化硅PN结器件表面构成一种将纯β放射源的衰变能转化为电能的装置。本发明提供的技术方案简单，有利于实现具有能量转化效率高、输出性能稳定、工作时间长、抗辐照性能强的薄膜型β辐射伏特效应核电池，这种类型的核电池具有重要的应用价值。 | ||
| 搜索关键词： | 碳化硅 核电池 放射源 伏特效应 辐射 微波等离子体化学气相沉积 电子束蒸发镀膜 半导体微加工 离子注入技术 能量转化效率 欧姆接触电极 衰变 抗辐照性能 电池外壳 输出性能 耦合 薄膜型 加载 制备 转化 应用 | ||
【主权项】：
1.一种基于碳化硅PN结型β辐射伏特效应核电池，其特征在于包括：纯β放射源(1)，碳化硅PN结器件内部依次层叠设置为正面环形欧姆接触电极层(2)、二氧化硅钝化层(3)、P型低掺杂碳化硅层(4)、N型高掺杂碳化硅层(5)、单晶碳化硅衬底层(6)、背欧姆接触电极层(7)，核电池外壳(8)和核电池外壳可拆卸部分(9)。
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