[发明专利]太赫兹频段真空器件用金刚石单晶输能窗片及其制备方法有效
| 申请号： | 201810478882.0 | 申请日： | 2018-05-18 |
| 公开（公告）号： | CN108682608B | 公开（公告）日： | 2020-05-01 |
| 发明（设计）人： | 于盛旺;郑可;王洪孔;高洁;黑鸿君;马丹丹;任咪娜;申艳艳;贺志勇 | 申请（专利权）人： | 太原理工大学 |
| 主分类号： | H01J23/36 | 分类号： | H01J23/36;H01J9/00 |
| 代理公司： | 太原倍智知识产权代理事务所(普通合伙) 14111 | 代理人： | 骆洋 |
| 地址： | 030024 *** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | 本发明为一种太赫兹频段真空器件用金刚石单晶输能窗片，解决了现有氧化铍、蓝宝石和电子级多晶金刚石等微波输能窗材料存在毒性大、介电常数偏高、可焊性差等问题。本发明包括电子级CVD金刚石单晶圆片，电子级CVD金刚石单晶圆片的上、下两个面上沿周缘一圈分别设置有环状的可焊接区域，可焊接区域内的部分为能量传输区域，可焊接区域依次经过金属离子注入、退火和金属化处理而形成。本发明采用离子注入、退火加表面金属化处理的方式对金刚石输能窗片待焊接区域进行处理，赋予边缘金属特性，提高了金刚石的可焊性，这使得制备的太赫兹频段真空器件用金刚石单晶输能窗片更容易与窗架连接，且能够实现更高的封接气密性和封接强度。 | ||
| 搜索关键词： | 赫兹 频段 真空 器件 金刚石 单晶输能窗片 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种太赫兹频段真空器件用金刚石单晶输能窗片，其特征在于：包括电子级CVD金刚石单晶圆片（1），电子级CVD金刚石单晶圆片（1）的上、下两个面上沿周缘一圈分别设置有环状的可焊接区域（2），可焊接区域（2）内的部分为能量传输区域（3），可焊接区域（2）依次经过金属离子注入、退火和金属化处理而形成。
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