[发明专利]一种解决碳化硅切割切削液堵塞的方法在审
| 申请号： | 201810466512.5 | 申请日： | 2018-05-16 |
| 公开（公告）号： | CN108621312A | 公开（公告）日： | 2018-10-09 |
| 发明（设计）人： | 苏双图;张洁;赖柏帆;林武庆 | 申请（专利权）人： | 福建北电新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | B28D5/00 | 分类号： | B28D5/00 |
| 代理公司： | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人： | 汤东凤 |
| 地址： | 362211 福建省泉州*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种解决碳化硅切割切削液堵塞的方法，包括：将机台上切削液通过机台管道接到切削液桶管道，切削液桶管道插入第一沉淀区内，使机台上的切削液在第一沉淀区进行沉淀；待切削液的液面超出第一沉淀区的溢流口时，切削液经第一沉淀区的溢流口溢流到第二沉淀区；待切削液的液面超出第二沉淀区的外延梯形溢流口时，经过第二沉淀区沉淀的切削液经过外延梯形溢流口溢流到第三过滤区；溢流到第三过滤区的切削液通过过滤垫进行过滤，过滤后的切削液直接流入供给槽，通过抽水泵将过滤的切削液抽到线切机台上组成一个循环的系统。本发明解决了碳化硅在切割过程中由于切削液堵塞，流量变小，导致从喷嘴喷洒到碳化硅晶棒切削液不均匀的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 切削液 沉淀区 碳化硅 溢流口 溢流 过滤 过滤区 堵塞 液面 沉淀 切割 机台 切割过程 不均匀 沉淀的 抽水泵 供给槽 过滤垫 线切机 喷嘴 变小 晶棒 喷洒 | ||
【主权项】：
1.一种解决碳化硅切割切削液堵塞的方法，其特征在于，采用新型切削液桶解决碳化硅切割切削液堵塞；所述新型切削液桶包括：机台管道(1)、切削液桶管道(2)、第三过滤区(3)、外延梯形溢流口(4)、过滤垫(5)、抽水泵(6)、第一沉淀区(7)、第二沉淀区(8)、供给槽(9)、底部开关(10)、控温系统(11)；所述解决碳化硅切割切削液堵塞的方法，包括以下步骤：步骤S1，将机台上切削液通过机台管道(1)接到切削液桶管道(2)，切削液桶管道(2)插入第一沉淀区(7)内，使机台上的切削液在第一沉淀区(7)进行沉淀；步骤S2，待切削液的液面超出第一沉淀区(7)的溢流口时，切削液经第一沉淀区(7)的溢流口溢流到第二沉淀区(8)；步骤S3，待切削液的液面超出第二沉淀区(8)的外延梯形溢流口(4)时，经过第二沉淀区(8)沉淀的切削液经过外延梯形溢流口(4)溢流到第三过滤区(3)；步骤S4，溢流到第三过滤区(3)的切削液通过过滤垫(5)进行过滤，过滤后的切削液直接流入供给槽(9)，通过抽水泵(6)将过滤的切削液抽到线切机台上组成一个循环的系统。
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