[发明专利]一种对线宽量测机进行校准的方法在审
| 申请号： | 201810435468.1 | 申请日： | 2018-05-09 |
| 公开（公告）号： | CN109029309A | 公开（公告）日： | 2018-12-18 |
| 发明（设计）人： | 邹雨佑 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号： | G01B15/00 | 分类号： | G01B15/00 |
| 代理公司： | 深圳汇智容达专利商标事务所(普通合伙) 44238 | 代理人： | 潘中毅;熊贤卿 |
| 地址： | 518000 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明实施例公开了一种对线宽量测机进行校准的方法，包括如下步骤：步骤S10，提供一测量样本，在测量样本上设置一用于指示出测量区域的指示标志；步骤S11，采用线宽量测机对测量样本的测量区域的图案中的关键尺寸进行测量，获得第一量测数据；步骤S12，将测量样本制作成扫描电子显微镜切片，其至少包括所述测量区域；步骤S13，采用扫描电子显微镜对扫描电子显微镜切片中的测量区域的图案中相应的关键尺寸进行测量，获得第二量测数据；步骤S14，以第二量测数据为基础，将第一量测数据与第二量测数据进行比较；步骤S15，根据比较结果，确定是否需要对线宽量测机进行校正，在确定需要对线宽量测机进行校正时，对线宽量测机进行校正。实施本发明实施例，可以提高对线宽量测机进行校准的准确性。 | ||
| 搜索关键词： | 对线 宽量 量测数据 测量 测量样本 扫描电子显微镜 校准 校正 切片 图案 指示标志 量测机 线宽 制作 | ||
【主权项】：
1.一种对线宽量测机进行校准的方法，其特征在于，包括如下步骤：步骤S10，提供一测量样本，所述测量样本为镀膜有至少一个图案的透明基板，在所述测量样本上设置一指示标志，指示出测量区域；步骤S11，采用线宽量测机对所述测量样本的测量区域的图案中的关键尺寸进行测量，获得第一量测数据；步骤S12，将所述测量样本制作成扫描电子显微镜切片，所述扫描电子显微镜切片至少包括所述测量区域；步骤S13，采用扫描电子显微镜对所述扫描电子显微镜切片中的测量区域的图案中相应的关键尺寸进行测量，获得第二量测数据；步骤S14，以所述第二量测数据为基础，将所述第一量测数据与所述第二量测数据进行比较；步骤S15，根据比较结果，确定是否需要对所述线宽量测机进行校正，在确定需要对所述线宽量测机进行校正时，对所述线宽量测机进行校正。
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