[发明专利]真空压力控制装置和微波等离子体化学气相沉积装置在审
| 申请号： | 201810408636.8 | 申请日： | 2018-05-02 |
| 公开（公告）号： | CN108517556A | 公开（公告）日： | 2018-09-11 |
| 发明（设计）人： | 马懿;马修·L·斯卡林;朱金华;吴建新;缪勇;卢荻;艾永干;克里斯托弗·E·格里芬 | 申请（专利权）人： | FD3M公司 |
| 主分类号： | C30B25/02 | 分类号： | C30B25/02;C30B29/04 |
| 代理公司： | 南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32256 | 代理人： | 王锋;王茹 |
| 地址： | 美国加利福尼亚*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本申请公开了一种真空压力控制装置，包括：至少一条第一真空管路，连通于抽真空接口和真空泵之间，每条第一真空管路上分别设置有一阀门；至少一条第二真空管路，连通于抽真空接口和真空泵之间，每条第二真空管路上分别设置有一阀门和一比例阀，该比例阀包括密封板、以及开设于密封板上的具有固定口径的通孔。本申请还公开了一种微波等离子体化学气相沉积装置及其应用。本发明通过设计具有小孔的支路实现在不同压力下的调节，另一方面可以节约大量成本，另一方面控制精度高、压力稳定。 | ||
| 搜索关键词： | 微波等离子体化学气相沉积 真空管 真空压力控制装置 抽真空接口 真空管路 比例阀 密封板 真空泵 阀门 连通 支路 固定口径 压力稳定 通孔 小孔 申请 节约 应用 | ||
【主权项】：
1.一种真空压力控制装置，其特征在于，包括设置在真空管路上的密封板、以及开设于密封板上的具有固定口径的通孔。
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