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[发明专利]一种金刚石、其光学性质改进方法及制造方法-CN202111575391.6有效
发明人：马懿;缪嘉伟;艾永干 -专利权人：苏州贝莱克金刚石科技有限公司
申请日： 2021-12-21 - 公布日： 2023-10-10 - 主分类号： C30B29/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种金刚石、其光学性质改进方法及制造方法。所述光学性质改进方法包括：在待处理的金刚石的至少部分表面涂覆光学改性涂料，以在所述金刚石表面形成光学改性薄膜，所述光学改性薄膜的透光率低于50％；以及以激光对所述金刚石未被光学改性薄膜覆盖的至少部分区域进行切割。涂覆于金刚石表面能够防止激光因金刚石折射率不均匀导致的发散现象，避免了激光的能量传递至金刚石的缺陷处或应力集中处，进而有效杜绝了开裂现象，光学改性薄膜还具有导热、增韧的功能，能够及时传导金刚石表面的局部热量，使得金刚石被切割表面的温度均匀程度得以提升，光学改性薄膜的增韧作用使得微观裂纹不会扩大成宏观裂纹，进一步地避免了金刚石的开裂。
一种金刚石光学性质改进方法制造

[实用新型]用于金刚石单晶片平面研磨的固定工装及平面研磨装置-CN202120659901.7有效
发明人： 艾永干;马懿;华雄伟;缪勇;缪嘉伟 -专利权人：苏州贝莱克晶钻科技有限公司
申请日： 2021-03-31 - 公布日： 2022-01-28 - 主分类号： B24B7/22 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于金刚石单晶片平面研磨的固定工装及平面研磨装置，所述固定工装包括：主夹头，主夹头上具有用于固定待研磨单晶片的贴合面，所述贴合面上开设有沿平行于贴合面的方向贯穿主夹头的载物槽和排泄槽，所述载物槽的底面为雾面结构，且其上还设置有多个可以容纳胶水或解胶剂的孔。该固定工装通过贯穿式雾面槽口的结构设计，能够使金刚石单晶片固定的更加牢靠，且研磨过程中产生的灰尘和脱落的胶水可以通过排泄槽排出，避免了对固定平面度的影响，确保了研磨精度，以及研磨完成后，可进行内外同时解胶，更容易将金刚石单晶片取下来，节约时间。
用于金刚石晶片平面研磨固定工装装置

[实用新型]一种带水冷功能的金刚石单晶片平面自动研磨设备-CN202120659903.6有效
发明人： 艾永干;马懿;华雄伟;缪勇;缪嘉伟 -专利权人：苏州贝莱克晶钻科技有限公司
申请日： 2021-03-31 - 公布日： 2022-01-28 - 主分类号： B24B37/10 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种带水冷功能的金刚石单晶片平面自动研磨设备，包括：单晶片固定机构、水冷机构、磨盘、驱动机构以及控制机构。该研磨设备在研磨过程中通过引入冷却水，且水温水流可控，大大降低了单晶片样品因研磨高温而发生碎裂的概率，同时也延长了设备的使用寿命。以及，该设备能够通过控制机构精准控制研磨压力和研磨量以及研磨完成后自动关水、关机、断电等，可进行无人值守研磨，节约成本。
一种水冷功能金刚石晶片平面自动研磨设备

[发明专利]微波等离子体化学气相沉积装置及其应用-CN201810408700.2有效
发明人：马懿;马修·L·斯卡林;朱金华;吴建新;缪勇;卢荻;艾永干;克里斯托弗·E·格里芬 -专利权人： FD3M公司
申请日： 2018-05-02 - 公布日： 2020-12-15 - 主分类号： C23C16/517 文献下载
摘要：本申请公开了一种微波等离子体化学气相沉积装置，包括谐振腔、耦合转换腔、以及分隔于谐振腔和耦合转换腔之间的介质窗口，所述介质窗口具有一冷却腔体，该冷却腔体独立于所述谐振腔和耦合转换腔，所述冷却腔体具有可与外部冷却回路连通的进口和出口。本发明还公开了上述微波等离子体化学气相沉积装置在合成单晶金刚石中的应用。本发明通过流动的冷却气体可以实现对介质窗口的冷却，提高介质窗口的耐高温能力。由于解决了石英玻璃的冷却问题，可以解决波导中抽低真空问题，从而将电磁波的在传导至于真空中，解决以往的冷却空气流体的流动对于电磁波的微扰作用，对于等离子体的稳定有极大的作用。
微波等离子体化学沉积装置及其应用

[发明专利]微波等离子体化学气相沉积装置和合成金刚石的方法-CN201810408707.4有效
发明人：马懿;马修·L·斯卡林;朱金华;吴建新;缪勇;卢荻;艾永干;克里斯托弗·E·格里芬 -专利权人： FD3M公司
申请日： 2018-05-02 - 公布日： 2020-10-30 - 主分类号： C30B25/02 文献下载
摘要：本申请公开了一种微波等离子体化学气相沉积装置，包括设置于谐振腔内的反射板和基板，反射板和基板相对设置，所述反射板上镂空有至少一窗口，该反射板至少背离所述基板的表面为电磁波反射面，所述基板面向所述窗口的一侧为一金刚石生长侧。本申请还公开了一种微波等离子体化学气相沉积合成金刚石的方法。本发明通过双升降结构，不仅可以控制等离子在腔体内上下高度可以调节，而且籽晶相对于等离子的位置也亦可以调节。此方法可以很好的控制等离子在腔体内垂直方向的位置，也可以很好的控制籽晶生长环境的稳定性。
微波等离子体化学沉积装置合成金刚石方法

[实用新型]微波等离子体化学气相沉积装置-CN201820640010.5有效
发明人：马懿;马修·L·斯卡林;朱金华;吴建新;缪勇;卢荻;艾永干;克里斯托弗·E·格里芬 -专利权人：苏州贝莱克晶钻科技有限公司
申请日： 2018-05-02 - 公布日： 2019-10-22 - 主分类号： C23C16/511 文献下载
摘要：本申请公开了一种微波等离子体化学气相沉积装置，包括：谐振腔；沉积台，设置于谐振腔内，包括基板以及为基板降温的冷却装置，该冷却装置包括冷却水回路，所述冷却水回路上设置有VCR接头；微波源，微波源所产生的微波的功率为6～75kW，频率为915MHz～2.45GHz，其中，所述冷却水回路包括：冷却水腔室；水冷轴，所述水冷轴的一端连通于所述冷却水腔室，所述水冷轴的另一端延伸于谐振腔的外部。本实用新型可以有效的解决微波等离子体化学气相沉积装置的泄露，可以明显提供钻石生产的品质。
微波等离子体化学气相沉积水冷轴谐振腔冷却水回路冷却水腔室冷却装置微波源基板本实用新型沉积台冷却水连通微波钻石泄露外部延伸申请生产

[实用新型]微波等离子体化学气相沉积装置-CN201820640317.5有效
发明人：马懿;马修·L·斯卡林;朱金华;吴建新;缪勇;卢荻;艾永干;克里斯托弗·E·格里芬 -专利权人：苏州贝莱克晶钻科技有限公司
申请日： 2018-05-02 - 公布日： 2019-10-22 - 主分类号： C23C16/511 文献下载
摘要：本申请公开了一种微波等离子体化学气相沉积装置，包括谐振腔，谐振腔上设置有抽真空接口，该抽真空接口和真空泵之间并联有至少一条第一真空管路和至少一条第二真空管路，其中，每条第一真空管路上分别设置有一阀门；每条第二真空管路上分别设置有一阀门和一比例阀，该比例阀包括密封板、以及开设于密封板上的具有固定口径的通孔，所述第一真空管路的口径大于第二真空管路的口径，还包括微波源，微波源所产生的微波的功率为6～75kW，频率为915MHz～2.45GHz。本实用新型通过设计具有小孔的支路实现在不同压力下的调节，另一方面可以节约大量成本，另一方面控制精度高、压力稳定。
真空管路微波等离子体化学气相沉积真空管抽真空接口比例阀密封板微波源谐振腔阀门口径本实用新型支路固定口径压力稳定真空泵并联通孔小孔微波节约申请

[实用新型]微波等离子体化学气相沉积装置-CN201820640006.9有效
发明人：马懿;马修·L·斯卡林;朱金华;吴建新;缪勇;卢荻;艾永干 -专利权人：苏州贝莱克晶钻科技有限公司
申请日： 2018-05-02 - 公布日： 2019-10-22 - 主分类号： C23C16/517 文献下载
摘要：本申请公开了一种微波等离子体化学气相沉积装置，采用等离子体天线作为耦合天线，所述等离子体天线包括介质管、惰性气体和电极，所述惰性气体密封于所述介质管内，所述电极设置于所述惰性气体的两端，装置还包括波导管和耦合转换腔，耦合天线的一端延伸于所述耦合转换腔内。本实用新型的微波等离子体化学气相沉积装置，采用等离子体天线进行耦合，可以极大的提高天线的效率。
微波等离子体化学气相沉积等离子体天线耦合惰性气体耦合天线介质管转换腔惰性气体密封本实用新型电极设置电极波导管天线延伸申请

[实用新型]微波等离子体化学气相沉积装置-CN201820640319.4有效
发明人：马懿;马修·L·斯卡林;朱金华;吴建新;缪勇;卢荻;艾永干;克里斯托弗·E·格里芬 -专利权人：苏州贝莱克晶钻科技有限公司
申请日： 2018-05-02 - 公布日： 2019-10-22 - 主分类号： C23C16/517 文献下载
摘要：本申请公开了一种微波等离子体化学气相沉积装置，包括谐振腔、耦合转换腔、以及分隔于谐振腔和耦合转换腔之间的介质窗口，所述介质窗口具有一冷却腔体，该冷却腔体独立于所述谐振腔和耦合转换腔，所述冷却腔体具有可与外部冷却回路连通的进口和出口，所述介质窗口的材质为石英玻璃，所述外部冷却回路为制冷的气体回路。本实用新型通过流动的冷却气体可以实现对介质窗口的冷却，提高介质窗口的耐高温能力。由于解决了石英玻璃的冷却问题，可以解决波导中抽低真空问题，从而将电磁波的在传导至于真空中，解决以往的冷却空气流体的流动对于电磁波的微扰作用，对于等离子体的稳定有极大的作用。
介质窗口冷却腔体耦合谐振腔转换腔微波等离子体化学气相沉积石英玻璃外部冷却电磁波等离子体本实用新型进口和出口耐高温能力抽低真空回路连通冷却空气冷却气体冷却问题气体回路波导流体微扰传导分隔流动制冷冷却申请

[实用新型]微波等离子体化学气相沉积装置-CN201820639883.4有效
发明人：马懿;马修·L·斯卡林;朱金华;吴建新;缪勇;卢荻;艾永干;克里斯托弗·E·格里芬 -专利权人：苏州贝莱克晶钻科技有限公司
申请日： 2018-05-02 - 公布日： 2018-11-30 - 主分类号： C30B25/00 文献下载
摘要：本申请公开了一种微波等离子体化学气相沉积装置，包括设置于谐振腔内的反射板和基板，反射板和基板相对设置，所述反射板上镂空有至少一窗口，该反射板至少背离所述基板的表面为电磁波反射面，所述基板面向所述窗口的一侧为一金刚石生长侧，所述基板的表面凸伸有至少一籽晶，每个所述籽晶分别对应于一所述窗口内，所述反射板和基板相对谐振腔在竖直方向位移可调。本实用新型通过双升降结构，不仅可以控制等离子在腔体内上下高度可以调节，而且籽晶相对于等离子的位置也亦可以调节。此方法可以很好的控制等离子在腔体内垂直方向的位置，也可以很好的控制籽晶生长环境的稳定性。
反射板基板等离子籽晶微波等离子体化学气相沉积谐振腔体内基板相对设置竖直方向位移本实用新型金刚石生长基板相对升降结构籽晶生长电磁波镂空反射面可调凸伸背离申请

[实用新型]单晶金刚石合成装置-CN201820639884.9有效
发明人：马懿;马修·L·斯卡林;朱金华;吴建新;缪勇;卢荻;艾永干;克里斯托弗·E·格里芬 -专利权人：苏州贝莱克晶钻科技有限公司
申请日： 2018-05-02 - 公布日： 2018-11-30 - 主分类号： C30B29/04 文献下载
摘要：本申请公开了一种单晶金刚石合成装置，包括微波源、等离子体耦合装置和谐振装置，所述谐振装置包括一谐振腔，所述谐振腔内具有一金刚石生长面，等离子体耦合装置能够将来自所述微波源的微波在金刚石生长面的下方激发形成等离子体。本实用新型通过在基片下表面沉积金刚石薄膜，可以有效的解决金刚石生产过程中的杂质污染。
等离子体耦合单晶金刚石金刚石生长合成装置微波源谐振腔等离子体沉积金刚石薄膜本实用新型金刚石生产谐振装置杂质污染下表面微波激发申请

[发明专利]微波等离子体化学气相沉积装置和金刚石的合成方法-CN201810408710.6在审
发明人：马懿;马修·L·斯卡林;朱金华;吴建新;缪勇;卢荻;艾永干;克里斯托弗·E·格里芬 -专利权人： FD3M公司
申请日： 2018-05-02 - 公布日： 2018-09-28 - 主分类号： C30B25/02 文献下载
摘要：本申请公开了一种微波等离子体化学气相沉积装置，采用等离子体天线作为耦合天线。本申请还公开了一种金刚石的合成方法，采用等离子体天线作为耦合天线，通过微波等离子体化学气相沉积方法合成金刚石。本申请还公开了微波等离子体化学气相沉积装置在单晶金刚石合成中的应用。本发明的微波等离子体化学气相沉积装置，采用等离子体天线进行耦合，可以极大的提高天线的效率。
微波等离子体化学气相沉积等离子体天线金刚石合成耦合天线申请单晶金刚石耦合天线应用

[发明专利]微波等离子体化学气相沉积装置和漏点检测方法-CN201810408777.X在审
发明人：马懿;马修·L·斯卡林;朱金华;吴建新;缪勇;卢荻;艾永干;克里斯托弗·E·格里芬 -专利权人： FD3M公司
申请日： 2018-05-02 - 公布日： 2018-09-28 - 主分类号： C30B25/16 文献下载
摘要：本申请公开了一种微波等离子体化学气相沉积装置，包括：谐振腔；沉积台，设置于谐振腔内，包括基板以及为基板降温的冷却装置，该冷却装置包括冷却水回路，所述冷却水回路上设置有VCR接头。本申请还公开了一种极高真空的控制方法，包括：建立真空腔体的静态压升力曲线，其中，横坐标为时间，纵坐标为压力，并控制：曲线的起始点小于1.0×10‑11Pa；曲线切线斜率小于1.0×10‑8pa/min；真空腔体的总泄露率小于10‑8Pa.l/s。本发明可以有效的解决微波等离子体化学气相沉积装置的泄露，可以明显提供钻石生产的品质。
微波等离子体化学气相沉积冷却装置真空腔体谐振腔基板泄露冷却水回路极高真空漏点检测曲线切线沉积台静态压冷却水起始点升力申请钻石生产

[发明专利]真空压力控制装置和微波等离子体化学气相沉积装置-CN201810408636.8在审
发明人：马懿;马修·L·斯卡林;朱金华;吴建新;缪勇;卢荻;艾永干;克里斯托弗·E·格里芬 -专利权人： FD3M公司
申请日： 2018-05-02 - 公布日： 2018-09-11 - 主分类号： C30B25/02 文献下载
摘要：本申请公开了一种真空压力控制装置，包括：至少一条第一真空管路，连通于抽真空接口和真空泵之间，每条第一真空管路上分别设置有一阀门；至少一条第二真空管路，连通于抽真空接口和真空泵之间，每条第二真空管路上分别设置有一阀门和一比例阀，该比例阀包括密封板、以及开设于密封板上的具有固定口径的通孔。本申请还公开了一种微波等离子体化学气相沉积装置及其应用。本发明通过设计具有小孔的支路实现在不同压力下的调节，另一方面可以节约大量成本，另一方面控制精度高、压力稳定。
微波等离子体化学气相沉积真空管真空压力控制装置抽真空接口真空管路比例阀密封板真空泵阀门连通支路固定口径压力稳定通孔小孔申请节约应用

[发明专利]单晶金刚石合成装置和方法-CN201810408768.0在审
发明人：马懿;马修·L·斯卡林;朱金华;吴建新;缪勇;卢荻;艾永干;克里斯托弗·E·格里芬 -专利权人：苏州贝莱克晶钻科技有限公司
申请日： 2018-05-02 - 公布日： 2018-07-24 - 主分类号： C30B29/04 文献下载
摘要：本申请公开了一种单晶金刚石合成装置，包括微波源、等离子体耦合装置和谐振装置，所述谐振装置包括一谐振腔，所述谐振腔内具有一金刚石生长面，等离子体耦合装置能够将来自所述微波源的微波在金刚石生长面的下方激发形成等离子体。本申请还公开了一种单晶金刚石合成方法。本发明通过在基片下表面沉积金刚石薄膜，可以有效的解决金刚石生产过程中的杂质污染。
单晶金刚石等离子体耦合金刚石生长合成装置微波源谐振腔等离子体沉积金刚石薄膜金刚石生产谐振装置杂质污染下表面申请微波合成激发

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