[发明专利]一种周期性多层纳米结构AlTiN/AlCrSiN硬质涂层及其制备方法和应用有效
| 申请号： | 201810401123.4 | 申请日： | 2018-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN108754415B | 公开（公告）日： | 2020-11-17 |
| 发明（设计）人： | 王启民;张权;吴正涛;刘喆人;彭滨 | 申请（专利权）人： | 广东工业大学 |
| 主分类号： | C23C14/02 | 分类号： | C23C14/02;C23C14/06;C23C14/32;C23C28/04 |
| 代理公司： | 广东广信君达律师事务所 44329 | 代理人： | 张燕玲;杨晓松 |
| 地址： | 510062 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： |
本发明属于材料涂层领域，公开了一种周期性多层纳米结构AlTiN/AlCrSiN硬质涂层及其制备方法和应用。制备时先沉积AlTi结合层，活化金属基体，再沉积约1μm厚的AlTiN过渡层，为多层结构提供支撑；最后沉积AlTiN/AlCrSiN功能层。多层结构中，AlCrSiN层以AlTiN层为模板，通过共格生长表现为面心立方结构。AlCrSiN层由AlCrN和非晶Si |
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| 搜索关键词： | 一种 周期性 多层 纳米 结构 altin alcrsin 硬质 涂层 及其 制备 方法 应用 | ||
【主权项】：
1.一种周期性多层纳米结构AlTiN/AlCrSiN硬质涂层，其特征在于：所述涂层由下到上包括硬质合金基体、金属AlTi结合层、AlTiN过渡层和AlTiN/AlCrSiN功能层；AlTiN/AlCrSiN功能层是由调制比为1:1～2:1的AlTiN中间层与AlCrSiN中间层交替沉积而成，调制周期为4～20nm；金属AlTi结合层中各元素的原子百分比含量为：Al:50～70at.％，Ti:30～50at.％；AlTiN过渡层中各元素的原子百分比含量为：Al:20～28at.％，Ti:18～22at.％，N:45～55at.％；AlTiN中间层各元素的原子百分比含量为：Al:20～28at.％，Ti:18～22at.％，N:45～55at.％；AlCrSiN中间层中各元素的原子百分比含量为：Al:20～35at.％，Cr:10～20at.％，Si:3～10at.％，N:40～53at.％。
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